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发明公开
一种微型柔性磁温度传感器器件及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN115597739A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211239571.1

申请日：2022-10-11

申请人： 杭州电子科技大学(CN) , 杭州电子科技大学上虞科学与工程研究院有限公司(CN)

发明人： 赵晓宇 , 董智超 , 温嘉红 , 张永军 , 王雅新

IPC分类号： G01K7/36 , C23C14/35 , C23C14/58 , C23C14/16

摘要： 本发明涉及微型传感器技术领域，尤其涉及一种微型柔性磁温度传感器器件及其制备方法，包括聚酰亚胺(PI)柔性衬底以及附着在其表面的温度敏感型复合材料，所述温度敏感型复合材料选自NiCoMnIn、NiCoMnTi/Cr中的一种。本发明的微型柔性磁温度传感器器件的制备方法具有步骤简单、可操作空间高，制备周期短、价格低廉以及试验条件简单的特点，且具有针对特定温度区间监测以及对温度响应灵敏度高的优异性能。