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公开(公告)号：CN116679128A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310817161.9
申请日：2023-07-04
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种射频电源的阻抗检测电路及方法，该电路中定向耦合器的输入端与所述射频电源输出端连接，输出端与阻抗匹配器连接，阻抗匹配器的输出端连接等离子体负载，定向耦合器的耦合端和隔离端分别耦合出矢量电压信号；第一电压测量模块与定向耦合器的耦合端连接；第二电压测量模块与定向耦合器的隔离端连接；模数转换模块与第一电压测量模块和第二电压测量模块连接；处理器与模数转换模块连接，将转换完成的第一第二电压数字信号进行分析处理确定负载阻抗、射频电源输出功率和负载功率。本发明电路结构更简单，在成本上有优势，实现了对等离子体负载变化的实时监测，为实现更复杂的工艺提供了有效技术支持。
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