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公开(公告)号：CN111910149A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010657263.5
申请日：2020-07-09
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及薄膜材料技术领域，尤其涉及一种周期性多方向厚度梯度薄膜的制备方法，包括以下步骤：将掩模板悬空固定于基底上方，放入溅射仪的真空腔内，将靶材固定于阴极上，基底置于正对靶面的阳极上，抽真空后，通入惰性气体，采用溅射法制备周期性多方向厚度梯度薄膜；所述掩模板与基底的距离为h；所述掩模板具有网孔，所述网孔的尺寸记为w，肋宽记为d，所述h、w和d可调节；所述h＞0。本发明可以一次性制备出多方向的厚度梯度薄膜，并且为周期性密布排列，该周期性多方向厚度梯度薄膜具有高通量的特点，有利于大规模的集成研究与应用，在柔性电子材料与器件领域具有广阔的应用前景。
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