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公开(公告)号:CN117773242A
公开(公告)日:2024-03-29
申请号:CN202311782883.1
申请日:2023-12-22
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了不间断电火花单脉冲下的连续蚀刻坑最大深度测量方法。本发明通过在电火花液无混粉且工件静止情况下对工件进行单脉冲蚀刻试加工,推导出在电火花液无混粉且工件移动情况下蚀刻坑的最大深度,接着通过在电火花液含有混粉且工件静止情况下对工件进行单脉冲蚀刻试加工,推导出在电火花液含有混粉且工件移动情况下单个蚀刻坑的最大深度,然后推导出在电火花液含有混粉且工件移动情况下多个连续蚀刻坑中除第一个外其余蚀刻坑的最大深度。本发明为不同放电电压、放电电流、放电时间或工件材料下进行不间断单脉冲蚀刻加工的工件的表面粗糙度提供了数据依据。