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实用新型
一种空间光调制器结构测量装置有权

公开(公告)号：CN217083955U

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202221150928.4

申请日：2022-05-14

Applicant: 杭州大华仪器制造有限公司

Inventor： 王震 , 覃爱民 , 郭英 , 卢伟 , 蔡桂双

IPC: G01J1/02 , G01J1/04

Abstract: 本实用新型公开了一种空间光调制器结构测量装置，包括光学底板、依次安装在光学底板上的激光器、分光棱镜、空间光调制器以及功率计；其特征是所述光学底板上还安装有调节功率计的二维步进电机；所述二维步进电机包括纵向调节组件以及安装在纵向调节组件上的横向调节组件。本实用新型通过二维步进电机的设置，利用二维步进电机带动功率计进行自动调节对空间光调制器内部的结构进行测量，从而提高测量的精度和效率；通过纵向调节组件的设置，利用纵向调节组件代替人工带动功率计对空间光调制器内部的结构进行纵向测量；通过横向调节组件的设置，利用横向调节组件代替人工带动功率计对空间光调制器内部的结构进行横向测量。

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