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公开(公告)号：CN117488274A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311830887.2
申请日：2023-12-28
申请人： 杭州嘉悦智能设备有限公司
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/40 , C01B33/113
摘要： 本发明涉及一种冷凝收集结构及氧化亚硅生产设备。该冷凝收集结构包括液循环组件、支架以及驱动组件；所述液循环组件包括进出接头以及液循环通路，所述液循环通路包括依次连通的内管、收集件以及外管，所述内管与所述外管同心设置；所述进出接头与所述外管转动连接，所述内管延伸至所述进出接头内，所述进出接头开设有分别与所述内管以及所述外管对应连通的内管口以及外管口，其中一者用于进液，另一者用于出液；所述液循环组件以所述内管的中轴线为转动中心转动连接于所述支架，所述驱动组件用于驱动所述液循环组件转动。
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公开(公告)号：CN117486224A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311831071.1
申请日：2023-12-28
申请人： 杭州嘉悦智能设备有限公司
IPC分类号： C01B33/18
摘要： 本发明涉及一种氧化亚硅生产设备及冷凝收集方法。该氧化亚硅生产设备包括依次连通的高温室、过渡室以及低温室，所述高温室内设置有加热组件，用以加热原料产生氧化亚硅蒸汽，所述低温室设置有液循环组件；所述液循环组件包括依次连通的进液管、收集件以及出液管，以使得所述收集件内持续循环冷却液，所述收集件位于低温室内部，用以冷凝收集氧化亚硅；通过液循环组件内冷却液循环的方式实现冷量传递，能够根据输出冷却液温度实时判断低温室内冷凝沉积状态，以实时调整液循环组件的各项参数，将液循环组件提供的冷量控制在合适范围内，从而使得氧化亚硅生产设备始终保持较高的沉积效率。
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公开(公告)号：CN118640696A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202411118812.6
申请日：2024-08-15
申请人： 杭州嘉悦智能设备有限公司
摘要： 本发明涉及一种冷却收集结构及氧化亚硅生产设备。该冷却收集结构包括水冷桶、外管、内管、回水管以及保温桶，水冷桶向上开口且内部具有循环腔，外管穿过开口至与水冷桶的底壁固定，内管沿外管内部贯穿水冷桶内壁至与循环腔连通，内管内部形成进水通路，内管与外管之间形成出水通路，回水管一端与循环腔顶部连通，另一端与出水通路连通；保温桶设置于水冷桶外侧且与水冷桶外侧面贴合；一方面，保温桶的存在能够防止冷却水直接与收料表面接触，从而避免收料表面过冷的情况发生，另一方面，保温桶的保温作用延长了温度变化的时间，增加了收料表面的热稳定性，减少了温度波动，能够有效减少氧化亚硅分层现象，提高沉积效率。
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公开(公告)号：CN117466304A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311830633.0
申请日：2023-12-28
申请人： 杭州嘉悦智能设备有限公司
IPC分类号： C01B33/18
摘要： 本发明涉及一种氧化亚硅生产设备，包括依次连通的高温室、过渡室以及低温室，三者内部分别设置有相互独立的加热组件，高温室内固设有原料装填量大于300kg的坩埚；通过在高温室、过渡室以及低温室内设置相互独立的加热组件，对各个仓室独立进行加热控温，以确保各个仓室的温度能够控制在有效区域内，以满足实际生产需求，达到提高制备效率的效果；此外，为过渡室设置加热组件独立加热控温，能够确保过渡室内的物料维持气相状态，并保持气相状态进入低温室参与后续的沉积步骤，尽可能减少因过渡室内温度不够从而导致过渡室内的物料状态发生改变，进而导致产品反应不完全的情况发生，从而提高沉积效果。
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公开(公告)号：CN117466304B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311830633.0
申请日：2023-12-28
申请人： 杭州嘉悦智能设备有限公司
IPC分类号： C01B33/18
摘要： 本发明涉及一种氧化亚硅生产设备，包括依次连通的高温室、过渡室以及低温室，三者内部分别设置有相互独立的加热组件，高温室内固设有原料装填量大于300kg的坩埚；通过在高温室、过渡室以及低温室内设置相互独立的加热组件，对各个仓室独立进行加热控温，以确保各个仓室的温度能够控制在有效区域内，以满足实际生产需求，达到提高制备效率的效果；此外，为过渡室设置加热组件独立加热控温，能够确保过渡室内的物料维持气相状态，并保持气相状态进入低温室参与后续的沉积步骤，尽可能减少因过渡室内温度不够从而导致过渡室内的物料状态发生改变，进而导致产品反应不完全的情况发生，从而提高沉积效果。
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公开(公告)号：CN117488274B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311830887.2
申请日：2023-12-28
申请人： 杭州嘉悦智能设备有限公司
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/40 , C01B33/113
摘要： 本发明涉及一种冷凝收集结构及氧化亚硅生产设备。该冷凝收集结构包括液循环组件、支架以及驱动组件；所述液循环组件包括进出接头以及液循环通路，所述液循环通路包括依次连通的内管、收集件以及外管，所述内管与所述外管同心设置；所述进出接头与所述外管转动连接，所述内管延伸至所述进出接头内，所述进出接头开设有分别与所述内管以及所述外管对应连通的内管口以及外管口，其中一者用于进液，另一者用于出液；所述液循环组件以所述内管的中轴线为转动中心转动连接于所述支架，所述驱动组件用于驱动所述液循环组件转动。
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公开(公告)号：CN118670132A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202411115564.X
申请日：2024-08-14
申请人： 杭州嘉悦智能设备有限公司
摘要： 本发明涉及一种导流管安装结构及氧化亚硅生产设备。该导流管安装结构包括炉体、调平组件、坩埚以及导流管，调平组件包括坩埚托盘以及多根调平柱，各调平柱底端与炉体螺纹连接，顶端承托坩埚托盘，坩埚设置于坩埚托盘；坩埚侧面沿水平方向贯通开设有导流孔，导流管通过导流孔插入至坩埚内，且导流管外周面与导流孔内壁过渡配合，导流管插入坩埚一端具有环形的导向面，导向面的直径沿远离坩埚的方向逐渐增大至与导流管外周面的直径相等；上述两处结构的协同作用能够保证导流管外周面与导流孔的内壁在安装完成后紧密贴合，从而在降低导流管安装难度的同时，还提高了安装完成后的密封效果，有效避免了加热过程中的因泄漏导致实验失败的问题。
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公开(公告)号：CN118640695A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202411118776.3
申请日：2024-08-15
申请人： 杭州嘉悦智能设备有限公司
摘要： 本发明涉及一种冷却收集结构及氧化亚硅生产设备。该冷却收集结构包括水冷桶、外管、内管以及回水管，水冷桶向上开口且内部具有循环腔，外管穿过开口至与水冷桶的底壁固定，内管沿外管内部贯穿水冷桶内壁至与循环腔连通，内管内部形成进水通路，内管与外管之间形成出水通路，回水管一端与循环腔顶部连通，另一端与出水通路连通；循环腔内部沿周向环绕设置有螺旋状的导流板；以使得循环腔内部形成螺旋上升的冷却液通道，冷却液沿着螺旋状的冷却液通道上升，直至通过回水管流出，一方面能够保证冷却液与水冷桶外壁充分、均匀接触，从而避免出现死水，另一方面还增加了冷却液在循环腔内部的流动行程，使得冷却水与水冷桶外壁的热交换更充分。
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