公开(公告)号：CN113488425A

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN202110883129.1

申请日：2021-08-02

申请人： 杭州中为光电技术有限公司

发明人： 李宏 ,  陈宏 ,  景健 ,  张江水 ,  王俊 ,  张广犬 ,  胡普查

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 本发明涉及一种脱胶插片机及硅片加工方法，脱胶插片机包括料框、抓取机构、脱胶机构、解锁机构和插片机构。料框用于放置并夹持粘接有晶托的硅片，抓取机构用于抓取及转运料框或者晶托，脱胶机构用于对硅片进行脱胶处理，解锁机构用于解除料框对硅片的夹持固定，插片机构用于对脱胶后的硅片进行拆分处理。本发明提供的脱胶插片机全程不需要人工搬运硅片，进而避免了硅片的严重损坏，以及避免了人体受到废水腐蚀。

公开(公告)号：CN113394150A

公开(公告)日：2021-09-14

申请号：CN202110882181.5

申请日：2021-08-02

申请人： 杭州中为光电技术有限公司

发明人： 李宏 ,  陈宏 ,  王俊 ,  景健 ,  张江水 ,  张广犬 ,  黄游 ,  刘哲 ,  方勇健

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 本发明涉及硅片加工技术领域，特别是涉及硅片输送分散装置。硅片输送分散装置包括传送组件，传送组件能够对于硅片进行传送；夹紧组件，夹紧组件设于传送组件的两侧，夹紧组件和传送组件之间形成能够容置硅片的容置区，夹紧组件能够夹紧并传送硅片；及，喷水组件，喷水组件设于夹紧组件上，传送组件与夹紧组件配合能够将硅片传送至传送组件靠近喷水组件的一端，喷水组件能够对硅片吹水，以使硅片与相邻的硅片分离。本发明的优点在于：依靠夹紧组件夹紧硅片，能够使得硅片之间存在间隙而不相互抵靠，在吹水分片时容易将硅片分开，而且硅片不会受到前面硅片上的细小颗粒的磨损，使得硅片保持完整性。

公开(公告)号：CN113488424B

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN202110883128.7

申请日：2021-08-02

申请人： 杭州中为光电技术有限公司

发明人： 李宏 ,  陈宏 ,  刘哲 ,  景健 ,  张江水 ,  王俊 ,  张广犬 ,  方勇健 ,  黄游 ,  杨涛

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 本发明涉及一种脱胶装置，该脱胶装置包括脱胶槽、储酸槽和储水槽，储酸槽和储水槽均通过管道连通脱胶槽，脱胶槽和储酸槽之间的管道上设有第一控制组件，第一控制组件能够控制脱胶槽与储酸槽之间的通断；脱胶槽和储水槽之间的管道上设有第二控制组件，第二控制组件能够控制脱胶槽与储水槽之间的通断。本发明提供的脱胶装置，只需一个脱胶槽，便可实现硅片的浸泡水和浸泡乳酸。大大减少了脱胶装置所设的脱胶槽的数量，减小了脱胶装置的体积，并减小了脱胶装置的制造成本。

公开(公告)号：CN113488425B

公开(公告)日：2022-06-17

申请号：CN202110883129.1

申请日：2021-08-02

申请人： 杭州中为光电技术有限公司

发明人： 李宏 ,  陈宏 ,  景健 ,  张江水 ,  王俊 ,  张广犬 ,  胡普查

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 本发明涉及一种脱胶插片机及硅片加工方法，脱胶插片机包括料框、抓取机构、脱胶机构、解锁机构和插片机构。料框用于放置并夹持粘接有晶托的硅片，抓取机构用于抓取及转运料框或者晶托，脱胶机构用于对硅片进行脱胶处理，解锁机构用于解除料框对硅片的夹持固定，插片机构用于对脱胶后的硅片进行拆分处理。本发明提供的脱胶插片机全程不需要人工搬运硅片，进而避免了硅片的严重损坏，以及避免了人体受到废水腐蚀。

公开(公告)号：CN113394150B

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202110882181.5

申请日：2021-08-02

申请人： 杭州中为光电技术有限公司

发明人： 李宏 ,  陈宏 ,  王俊 ,  景健 ,  张江水 ,  张广犬 ,  黄游 ,  刘哲 ,  方勇健

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 本发明涉及硅片加工技术领域，特别是涉及硅片输送分散装置。硅片输送分散装置包括传送组件，传送组件能够对于硅片进行传送；夹紧组件，夹紧组件设于传送组件的两侧，夹紧组件和传送组件之间形成能够容置硅片的容置区，夹紧组件能够夹紧并传送硅片；及，喷水组件，喷水组件设于夹紧组件上，传送组件与夹紧组件配合能够将硅片传送至传送组件靠近喷水组件的一端，喷水组件能够对硅片吹水，以使硅片与相邻的硅片分离。本发明的优点在于：依靠夹紧组件夹紧硅片，能够使得硅片之间存在间隙而不相互抵靠，在吹水分片时容易将硅片分开，而且硅片不会受到前面硅片上的细小颗粒的磨损，使得硅片保持完整性。

公开(公告)号：CN113488424A

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN202110883128.7

申请日：2021-08-02

申请人： 杭州中为光电技术有限公司

发明人： 李宏 ,  陈宏 ,  刘哲 ,  景健 ,  张江水 ,  王俊 ,  张广犬 ,  方勇健 ,  黄游 ,  杨涛

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 本发明涉及一种脱胶装置，该脱胶装置包括脱胶槽、储酸槽和储水槽，储酸槽和储水槽均通过管道连通脱胶槽，脱胶槽和储酸槽之间的管道上设有第一控制组件，第一控制组件能够控制脱胶槽与储酸槽之间的通断；脱胶槽和储水槽之间的管道上设有第二控制组件，第二控制组件能够控制脱胶槽与储水槽之间的通断。本发明提供的脱胶装置，只需一个脱胶槽，便可实现硅片的浸泡水和浸泡乳酸。大大减少了脱胶装置所设的脱胶槽的数量，减小了脱胶装置的体积，并减小了脱胶装置的制造成本。