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发明公开
用于运行处理设备的方法、处理设备和处理设备的应用审中-实审

公开(公告)号：CN113631754A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN202080021730.3

申请日：2020-03-20

申请人： 杜尔系统股份公司 , 凯密特尔有限责任公司

发明人： 于尔根·韦舍克 , 奥利弗·萨奥尔 , 托拜厄斯·霍夫曼

IPC分类号： C23C22/86 , C23C22/82 , B01D61/02 , B05D3/00

摘要： 本发明涉及一种用于运行处理设备的方法，借助其能实现优化的工件处理，本发明提出，用于运行处理设备的方法包括：将工件引导穿过填充有处理介质的、用于处理工件的处理池；在从处理池中引出工件期间和/或之后，利用冲洗介质冲刷工件；由处理介质得到冲洗介质，其中冲洗介质借助回收装置优选地通过对处理介质进行过滤、尤其是纳米过滤来得到。