壳体和加工装置的使用方法

    公开(公告)号:CN113950614B

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202080042221.9

    申请日:2020-06-02

    Abstract: 提供一种能够抑制粉尘等附着于传感器的壳体和加工装置的使用方法。壳体(18)用于收容对能量射束(42)进行检测的传感器(20),具有腔室(18A)和供给口(18B),其中,所述腔室(18A)具有能够使能量射束透过的透过性部件(24);所述供给口(18B)用于向腔室内供给气体,传感器对经由透过性部件射入的能量射束进行检测。

    壳体和加工装置的使用方法

    公开(公告)号:CN113950614A

    公开(公告)日:2022-01-18

    申请号:CN202080042221.9

    申请日:2020-06-02

    Abstract: 提供一种能够抑制粉尘等附着于传感器的壳体和加工装置的使用方法。壳体(18)用于收容对能量射束(42)进行检测的传感器(20),具有腔室(18A)和供给口(18B),其中,所述腔室(18A)具有能够使能量射束透过的透过性部件(24);所述供给口(18B)用于向腔室内供给气体,传感器对经由透过性部件射入的能量射束进行检测。

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