涂布喷嘴
    1.
    发明公开
    涂布喷嘴 审中-实审

    公开(公告)号:CN117920481A

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202211266486.4

    申请日:2022-10-17

    Abstract: 本发明提供一种涂布喷嘴,能够使涂布的涂布材料的膜厚平均。涂布喷嘴包括:腔室部,连通于涂布材料供给部;供给面,配置于腔室部的一侧;排出面,与供给面相向地配置于腔室部的另一侧,用以排出涂布材料;多个供给孔,在供给面上以第一位置为圆心环状地排列;多个排出孔,在排出面上至少一直线状地排列,且多个排出孔的数量对应于多个供给孔的数量;以及多个连通孔路,从供给面上的多个供给孔分别对应地连通至排出面上的多个排出孔,其中多个连通孔路分别具有不同的长度,多个连通孔路包括大径部、以及直径较大径部短的小径部,多个连通孔路中的小径部,分别具有不同的直径或长度。

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