粘贴装置和粘贴方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113382838A

    公开(公告)日:2021-09-10

    申请号:CN202080011304.1

    申请日:2020-01-27

    Abstract: 粘贴装置(1),将薄膜状膜(F)粘贴在工件(W)上,具备:箱体(B),在其内部把持膜(F);下部真空腔体(32)及上部真空腔体(22),在箱体(B)内利用膜(F)划分形成;气压调整装置(5),调整真空腔体(22,32)内的气压;移动机构(6),在下部真空腔体(32)内使工件(W)移动;及,控制装置(7),控制气压调整装置(5)和移动机构(6)。控制装置(7)将真空腔体(22,32)内减压至低于大气压的规定的第一气压,然后,在使膜(F)与工件(W)抵接的状态下使上部真空腔体(22)内上升至高于第一气压且低于大气压的第二气压,然后,使真空腔体(22,32)内上升至大气压。

    粘贴装置和粘贴方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113382838B

    公开(公告)日:2023-04-11

    申请号:CN202080011304.1

    申请日:2020-01-27

    Abstract: 粘贴装置(1),将薄膜状膜(F)粘贴在工件(W)上,具备:箱体(B),在其内部把持膜(F);下部真空腔体(32)及上部真空腔体(22),在箱体(B)内利用膜(F)划分形成;气压调整装置(5),调整真空腔体(22,32)内的气压;移动机构(6),在下部真空腔体(32)内使工件(W)移动;及,控制装置(7),控制气压调整装置(5)和移动机构(6)。控制装置(7)将真空腔体(22,32)内减压至低于大气压的规定的第一气压,然后,在使膜(F)与工件(W)抵接的状态下使上部真空腔体(22)内上升至高于第一气压且低于大气压的第二气压,然后,使真空腔体(22,32)内上升至大气压。

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