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公开(公告)号：CN107407872A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680018462.3
申请日：2016-02-12
Applicant: 普罗米鲁斯有限责任公司
Abstract: 根据本发明的实施方式包含含有各种光碱产生剂的自可成像聚合物组合物，其可用于形成可被图案化以生成用于微电子器件、微电子封装、微机电系统、光电子器件及显示器的结构的膜。本发明的组合物可根据在可水显影介质中的预期应用而被调整为形成正色调或负色调图像。由其形成的图像表现出改善的性质，除其它性质增强之外，还包括低晶片应力和更好的热机械性质。
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