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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1498328A
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN03800145.4
申请日：2003-02-13
Applicant: 昭和电工株式会社 , 小池酸素工业株式会社
CPC classification number: F23G7/065 , F23J2215/30
Abstract: 本发明涉及一种处理从刻蚀或清洗步骤排放的含有氟气或卤素氟化物气体的废气的方法，包括使该废气在燃烧室中燃烧，该燃烧室具有在其表面上形成的氟化物钝化膜。该方法用于处理从半导体制造工艺中排放的含有高浓度或大量氟气或卤素氟化物气体的废气，该方法是安全和节能的，并能以提高的效率进行废气的预处理。
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公开(公告)号：CN1259524C
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN03800145.4
申请日：2003-02-13
Applicant: 昭和电工株式会社 , 小池酸素工业株式会社
CPC classification number: F23G7/065 , F23J2215/30
Abstract: 本发明涉及一种处理从刻蚀或清洗步骤排放的含有氟气或卤素氟化物气体的废气的方法，包括使该废气在燃烧室中燃烧，该燃烧室具有在其表面上形成的氟化物钝化膜。该方法用于处理从半导体制造工艺中排放的含有高浓度或大量氟气或卤素氟化物气体的废气，该方法是安全和节能的，并能以提高的效率进行废气的预处理。
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公开(公告)号：CN1308619C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN03812263.4
申请日：2003-05-30
Applicant: 小池酸素工业株式会社
CPC classification number: F23J1/06
Abstract: 一种废气处理装置，能够用剥离构件有效地刮落附在燃烧室内面上的粉体，并能延长使在剥离构件上发生冲击的冲击构件的寿命。杠杆(7a)是剥离构件，沿着燃烧室(1)的内面向圆周方向移动而剥离附在该燃烧室(1)内面上的粉体，在杠杆(7a)上面对燃烧室(1)内面的位置上设置刀刃部或锐角边缘部(7a1)。
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公开(公告)号：CN1656341A
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN03812263.4
申请日：2003-05-30
Applicant: 小池酸素工业株式会社
CPC classification number: F23J1/06
Abstract: 一种废气处理装置，能够用剥离构件有效地刮落附在燃烧室内面上的粉体，并能延长使在剥离构件上发生冲击的冲击构件的寿命。杠杆(7a)是剥离构件，沿着燃烧室(1)的内面向圆周方向移动而剥离附在该燃烧室(1)内面上的粉体，在杠杆(7a)上面对燃烧室(1)内面的位置上设置刀刃部或锐角边缘部(7a1)。
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公开(公告)号：CN1431427A
公开(公告)日：2003-07-23
申请号：CN03103731.3
申请日：2003-01-10
Applicant: 东京瓦斯株式会社 , 东京瓦斯化学株式会社 , 小池酸素工业株式会社
CPC classification number: F23G7/065 , F23G2209/142
Abstract: 有一种用于分解不可燃材料的燃烧器，其结构简单，并能以如99％或更高的效率热解甚至具有较高热解温度的材料，如CF4。这种燃烧器包括包含不可燃材料的气体喷射喷管(40)，其位于圆柱形主体(2)的一端，从而使包含不可燃材料的气体围绕着所述圆柱主体(2)的中心轴(L)喷射，并且多根氧化剂/燃料喷出喷管以下述方法布置：这些喷管沿着和圆柱主体(2)中心线的轴(L)同轴的环形线布置；这些吹出喷管50的轴以使所有喷出的火焰(f)会聚在所述圆柱主体(2)的中轴的几乎同一个点上的方式倾斜一定角度。
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