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公开(公告)号：CN111014933A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911363284.X
申请日：2019-12-26
申请人： 昆山全亚冠环保科技有限公司
摘要： 本发明属于靶材焊接技术领域，涉及一种提升靶材焊合率的方法，制备方法步骤包括提供一背板，其在一表面规定为第一焊合面；提供一靶材，其在一表面规定为第二焊合面；在焊料熔融状态下，对第一焊合面金属化处理，其面上形成第一焊料层；在焊料熔融状态下，对第二焊合面金属化处理，其面上形成第二焊料层；在焊料熔融状态下将超声波振动施加于焊接部位焊料，让第一焊料层与第二焊料层进行软焊接合。本发明能够利用超声波去除靶材表面氧化膜及空气气泡，从而实现靶材焊合率提升。
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公开(公告)号：CN103726025A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201410001378.3
申请日：2014-01-02
申请人： 昆山全亚冠环保科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种靶材组件及其制备方法，靶材组件包括背板和靶材，背板的焊合表面设有低熔点的背板焊料层，靶材的焊合表面从内到外依次设有等离子喷涂界面层和低熔点的靶材焊料层；背板焊料层与靶材焊料层软焊接。靶材组件的制备方法，包括在背板的焊合表面涂覆背板焊料层，并加热背板焊料层使其成为熔融状态；在靶材的焊合表面用砂纸打磨；在靶材的砂纸打磨表面利用等离子喷涂方法喷涂等离子喷涂界面层；在确定无等离子喷涂界面层脱落后，在等离子喷涂界面层上涂覆靶材焊料层，并加热靶材焊料层使其成为熔融状态；将背板上熔融状态的背板焊料层与靶材上熔融状态的靶材焊料层进行软焊接合。使得靶材组件具有较佳的接合附着能力。
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公开(公告)号：CN103726025B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201410001378.3
申请日：2014-01-02
申请人： 昆山全亚冠环保科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种靶材组件及其制备方法，靶材组件包括背板和靶材，背板的焊合表面设有低熔点的背板焊料层，靶材的焊合表面从内到外依次设有等离子喷涂界面层和低熔点的靶材焊料层；背板焊料层与靶材焊料层软焊接。靶材组件的制备方法，包括在背板的焊合表面涂覆背板焊料层，并加热背板焊料层使其成为熔融状态；在靶材的焊合表面用砂纸打磨；在靶材的砂纸打磨表面利用等离子喷涂方法喷涂等离子喷涂界面层；在确定无等离子喷涂界面层脱落后，在等离子喷涂界面层上涂覆靶材焊料层，并加热靶材焊料层使其成为熔融状态；将背板上熔融状态的背板焊料层与靶材上熔融状态的靶材焊料层进行软焊接合。使得靶材组件具有较佳的接合附着能力。
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公开(公告)号：CN207114461U
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201621463284.9
申请日：2016-12-29
申请人： 昆山全亚冠环保科技有限公司
IPC分类号： G01N25/04
摘要： 本实用新型属于靶材及靶材的焊接技术领域，涉及一种简易测低温焊料熔点装置，包括加热器、置于加热器内的容器、探入容器内的铂电阻测温头、电连接铂电阻测温头的数据记录器以及显示数据记录器记录的电脑。本实用新型能在加热低温焊料并自然冷却的过程中读出温度变化情况并绘制温度随时间变化的图形，这样就能显示低温焊料的熔点，避免用大型设备带来成本增加。
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公开(公告)号：CN205347565U
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201620059792.4
申请日：2016-01-21
申请人： 昆山全亚冠环保科技有限公司
摘要： 本实用新型属于溅射靶材技术领域，涉及一种焊接式溅射管靶，包括互相焊接的靶材和背管，所述靶材外径大于所述背管，所述靶材一端设有具有底壁和侧壁的沉孔，所述底壁与背管的端面之间通过耐高温胶贴合，所述侧壁与背管的外壁之间缝隙通过焊料填充。本实用新型缩小了背管的结构，使靶材与背管接合深度减小，焊合率高，保证了散热性能。
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