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发明公开
一种蚀刻机的控制方法、装置、蚀刻设备和存储介质

公开(公告)号：CN118963250A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202410958757.5

申请日：2024-07-16

申请人： 昂成精密仪器(深圳)有限公司

发明人： 张海飞 , 李正磊 , 陈滨 , 卓永生

IPC分类号： G05B19/4097

摘要： 本发明涉及软件控制技术领域，特别是一种蚀刻机的控制方法、装置、蚀刻设备和存储介质。蚀刻机包括用多个待控制机构；蚀刻机的控制方法包括：获取用户输入的配方数据和操作数据，根据配方数据和操作数据建立周期性多线程任务；根据周期性多线程任务分别针对多个待控制机构创建待控制对象和控制线程，将每个待控制对象移动到对应的控制线程中；通过信号和槽机制建立各个待控制对象之间的通信，从而在特定事件发生时执行相应的操作；启动周期性多线程任务，获取加工过程中的实时反馈数据，将实时反馈数据存入预设数据库中，显示实时反馈数据和预设数据库中的历史反馈数据。本发明能够实现多个待控制机构之间的协同操作，提升控制的可靠性。