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公开(公告)号：CN107299335B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN201710590648.2
申请日：2017-07-19
申请人： 旭科新能源股份有限公司
摘要： 一种水浴法沉积薄膜的热气及反应液循环利用的装置及方法，所述装置包括反应槽体、热气循环鼓风装置、抽气单元、进气单元和加热装置，反应槽体包括反应槽及反应槽上盖；热气循环鼓风装置位于反应槽体外部，包含用于热气循环的热气循环鼓风机、用于调整气量的风门、用于测量风压的压力表、用于分气的多管路气排；抽气单元设置于反应槽体两侧上方，包括抽气孔、抽气管、抽气风量调节阀门、耐热风管和管束；进气单元设置于反应槽体下方，包括进气孔、进气管、进气风量调节阀门、耐热风管和管束；加热装置位于反应槽正上方；反应槽上部装有加热器，通过辐射加热方式将反应液加热；然后将柔性衬底通过输送装置输送至反应槽内的反应液上，实现薄膜沉积。
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公开(公告)号：CN107313029A
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201710591521.2
申请日：2017-07-19
申请人： 旭科新能源股份有限公司
IPC分类号： C23C18/02
CPC分类号： C23C18/02
摘要： 一种工业化化学水浴法沉积薄膜的反应药液加热装置，它包括一配套用于反应设备的加热系统；所述的反应设备主要由反应槽和置于反应槽上部的反应槽上盖组成，所述的反应槽上盖通过内设于反应槽上部的反应槽托板安置在反应槽上部；所述加热系统包含若干数量的加热板、吹扫气体装置、阻挡条，其中加热板固定在反应槽上盖的下表面并被置于反应槽内，以便均匀加热衬底和反应液；所述的吹扫气体装置设置在加热板周边，以便加热均匀；所述的阻挡条有多条并设置在反应槽内，该阻挡条可加快局部水流速度，同时可以对药液进行分层；它具有结构简单，使用方便、可靠，加热快，能提升能量转换效率，使小功率把被加热物加热到很高温度成为可能等特点。
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公开(公告)号：CN107354448A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710666901.8
申请日：2017-08-07
申请人： 旭科新能源股份有限公司
CPC分类号： C23C18/1204 , C23C18/1233 , H01L31/1828
摘要： 一种连续生产ZnS薄膜的CBD反应沉积装置及方法，所述的装置包括内置有反应药液的反应槽，反应槽由低温段CBD沉积槽和高温段CBD沉积槽依次相接构成，低温段CBD沉积槽和高温段CBD沉积槽分别配置有各自独立循环的、各自连通循环冷却水以控制反应药液温度的低温段混料箱体和高温段混料箱体，高温段CBD沉积槽后面依次相接有清洗和干燥箱体并在前后各配置薄膜卷筒放料辊筒和薄膜卷筒收卷辊筒；方法包括：准备铜铟镓硒柔性薄膜太阳能电池所选用的衬底；配制反应液；将聚酰亚胺薄膜柔性衬底通过传输装置送至CBD反应槽上部；低温段CBD反应沉积槽与高温段CBD反应沉积槽各自独立循环；沉积衬底覆盖在CBD沉积槽上方，镀层面接触反应液。
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公开(公告)号：CN107299335A
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201710590648.2
申请日：2017-07-19
申请人： 旭科新能源股份有限公司
CPC分类号： C23C18/1204 , H01L31/18
摘要： 一种水浴法沉积薄膜的热气及反应液循环利用的装置及方法，所述装置包括反应槽体、热气循环鼓风装置、抽气单元、进气单元和加热装置，反应槽体包括反应槽及反应槽上盖；热气循环鼓风装置位于反应槽体外部，包含用于热气循环的热气循环鼓风机、用于调整气量的风门、用于测量风压的压力表、用于分气的多管路气排；抽气单元设置于反应槽体两侧上方，包括抽气孔、抽气管、抽气风量调节阀门、耐热风管和管束；进气单元设置于反应槽体下方，包括进气孔、进气管、进气风量调节阀门、耐热风管和管束；加热装置位于反应槽正上方；反应槽上部装有加热器，通过辐射加热方式将反应液加热；然后将柔性衬底通过输送装置输送至反应槽内的反应液上，实现薄膜沉积。
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公开(公告)号：CN207267895U
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201720877665.X
申请日：2017-07-19
申请人： 旭科新能源股份有限公司
IPC分类号： C23C18/02
摘要： 工业化化学水浴法沉积薄膜的反应药液加热装置，它包括一配套用于反应设备的加热系统；所述的反应设备主要由反应槽和置于反应槽上部的反应槽上盖组成，所述的反应槽上盖通过内设于反应槽上部的反应槽托板安置在反应槽上部；所述加热系统包含若干数量的加热板、吹扫气体装置、阻挡条，其中加热板固定在反应槽上盖的下表面并被置于反应槽内，以便均匀加热衬底和反应液；所述的吹扫气体装置设置在加热板周边，以便加热均匀；所述的阻挡条有多条并设置在反应槽内，该阻挡条可加快局部水流速度，同时可以对药液进行分层；它具有结构简单，使用方便、可靠，加热快，能提升能量转换效率，使小功率把被加热物加热到很高温度成为可能等特点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207210539U
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201720977018.6
申请日：2017-08-07
申请人： 旭科新能源股份有限公司
摘要： 一种连续生产ZnS薄膜的CBD反应沉积装置，所述的装置包括内置有反应药液的反应槽，反应槽由低温段CBD沉积槽和高温段CBD沉积槽依次相接构成，低温段CBD沉积槽和高温段CBD沉积槽分别配置有各自独立循环的、各自连通循环冷却水以控制反应药液温度的低温段混料箱体和高温段混料箱体，高温段CBD沉积槽后面依次相接有清洗和干燥箱体并在前后各配置薄膜卷筒放料辊筒和薄膜卷筒收卷辊筒；方法包括：准备铜铟镓硒柔性薄膜太阳能电池所选用的衬底；配制反应液；将聚酰亚胺薄膜柔性衬底通过传输装置送至CBD反应槽上部；低温段CBD反应沉积槽与高温段CBD反应沉积槽各自独立循环；沉积衬底覆盖在CBD沉积槽上方，镀层面接触反应液。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207267896U
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201720878196.3
申请日：2017-07-19
申请人： 旭科新能源股份有限公司
摘要： 一种水浴法沉积薄膜的热气及反应液循环利用的装置，所述装置包括反应槽体、热气循环鼓风装置、抽气单元、进气单元和加热装置，反应槽体包括反应槽及反应槽上盖；热气循环鼓风装置位于反应槽体外部，包含用于热气循环的热气循环鼓风机、用于调整气量的风门、用于测量风压的压力表、用于分气的多管路气排；抽气单元设置于反应槽体两侧上方，包括抽气孔、抽气管、抽气风量调节阀门、耐热风管和管束；进气单元设置于反应槽体下方，包括进气孔、进气管、进气风量调节阀门、耐热风管和管束；加热装置位于反应槽正上方；反应槽上部装有加热器，通过辐射加热方式将反应液加热；然后将柔性衬底通过输送装置输送至反应槽内的反应液上，实现薄膜沉积。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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