-
公开(公告)号：CN102446795A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010501629.6
申请日：2010-09-30
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种在搬运中不带着真空泵及真空泵的电源线而可搬运基板的操作性良好的基板搬运装置及搬运方法。在主体上安装有多个吸附垫，由这些吸附垫真空吸附基板，从而保持并搬运该基板，其中，在所述吸附垫上经由第一阀设置有真空室，该真空室经由第二阀和连结部可拆装地安装真空泵。
Search Results
1
records
(took 0.019 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
