公开(公告)号：CN101678572A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200880017133.2

申请日：2008-04-09

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 角崎健太郎 ,  川口泰秀 ,  坂根好彦 ,  庄子习一 ,  水野润 ,  片座慎吾

IPC: B29C33/38 ,  B29C59/02

CPC classification number: B29C59/02 ,  B29C33/40 ,  B29C33/424 ,  B29C33/56 ,  B29C35/0888 ,  B29C59/005 ,  B29L2011/00

Abstract: 本发明提供具有透光性、脱模性、机械强度、尺寸稳定性、高精度的微细图案且微细图案的变形少的模具，可高尺寸精度地转印模具的微细图案且转印微细图案的变形少的具有转印微细图案的基材的制造方法。模具(10)具有透明基体(A)(12)、中间层(C)(14)和表面层(B)(16)；所述透明基体(A)(12)在形成有中间层(C)(14)的表面具有基于官能团(x)的化学键，其线膨胀系数与含氟聚合物(I)的线膨胀系数之间的差的绝对值不足30ppm/℃，热变形温度为100～300℃；所述中间层(C)(14)由主链中具有含氟脂肪族环结构且具有与官能团(x)具反应性的反应性基团(y)的含氟聚合物(II)形成；表面层(B)(16)由主链中具有含氟脂肪族环结构且实质上不具有反应性基团(y)的含氟聚合物(I)形成，在表面具有微细图案(18)。