金属叠层成型流路构件及其制造方法

    公开(公告)号:CN114555864A

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN202080069388.4

    申请日:2020-11-12

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种兼具能够作为半导体器件制造装置的腐蚀性流体的供给管线中使用的流路构件加以利用的级别的流路内表面的表面粗糙度与耐蚀性的金属叠层成型流路构件。本发明的金属叠层成型流路构件是一种供腐蚀性流体流通的金属叠层成型流路构件,其特征在于,构成所述金属叠层成型流路构件的金属基体具有表面凹凸,所述金属叠层成型流路构件的流路的内表面以将所述金属基体的所述表面凹凸的至少凹区域填埋的方式形成有玻璃的涂层,所述玻璃的涂层包含P2O5‑ZnO‑Al2O3系玻璃的层、Bi2O3‑ZnO‑B2O3系玻璃的层、以及SiO2‑B2O3‑Na2O系玻璃的层中的至少一层。

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