公开(公告)号：CN101889199B

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN200880119235.5

申请日：2008-11-26

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 外间喜春 ,  山本正善 ,  安井忠德

IPC: G01N21/958 ,  G01N21/84

CPC classification number: G01N21/958

Abstract: 以简单的装置结构满足使玻璃基板移动并进行缺陷检查的要求，同时，不使玻璃基板的边上产生过度的应力集中，矫正玻璃基板的弯曲，提高缺陷的检测精度。一种玻璃基板检查装置(1)，通过使纵姿态的玻璃基板(G)相对于缺陷检测机构(3)沿玻璃基板(G)的宽度方向进行相对移动，而使缺陷检测机构(3)对玻璃基板(G)进行扫描，来检查玻璃基板(G)是否含有缺陷，其中，具备把持玻璃基板(G)的上边的上部把持机构(4)和把持玻璃基板(G)的下边的下部把持机构(5)，仅通过上部把持机构(4)和下部把持机构(5)所进行的把持来保持玻璃基板(G)，并且使上部把持机构(4)与下部把持机构(5)背离，对玻璃基板(G)沿上下方向施加张力，在此状态下，使玻璃基板(G)朝向缺陷检测机构(3)沿宽度方向移动。

公开(公告)号：CN101889199A

公开(公告)日：2010-11-17

申请号：CN200880119235.5

申请日：2008-11-26

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 外间喜春 ,  山本正善 ,  安井忠德

IPC: G01N21/958 ,  G01N21/84

CPC classification number: G01N21/958

Abstract: 以简单的装置结构满足使玻璃基板移动并进行缺陷检查的要求，同时，不使玻璃基板的边上产生过度的应力集中，矫正玻璃基板的弯曲，提高缺陷的检测精度。一种玻璃基板检查装置(1)，通过使纵姿态的玻璃基板(G)相对于缺陷检测机构(3)沿玻璃基板(G)的宽度方向进行相对移动，而使缺陷检测机构(3)对玻璃基板(G)进行扫描，来检查玻璃基板(G)是否含有缺陷，其中，具备把持玻璃基板(G)的上边的上部把持机构(4)和把持玻璃基板(G)的下边的下部把持机构(5)，仅通过上部把持机构(4)和下部把持机构(5)所进行的把持来保持玻璃基板(G)，并且使上部把持机构(4)与下部把持机构(5)背离，对玻璃基板(G)沿上下方向施加张力，在此状态下，使玻璃基板(G)朝向缺陷检测机构(3)沿宽度方向移动。