公开(公告)号：CN115210337B

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202180010578.3

申请日：2021-01-22

Applicant: 日本瓦姆&珀巴尔株式会社

Inventor： 村上贵志 ,  木村佳弘

IPC: C09K3/14 ,  C08F8/12 ,  C08L29/04 ,  B82B1/00 ,  B24B37/04 ,  H01L21/304 ,  C08K3/36

Abstract: 本发明提供一种新型的研磨用组合物，该研磨用组合物以含有水溶性高分子而构成，所述水溶性高分子至少含有具有碳原子数为3以上的侧链基团的乙烯醇系树脂。

公开(公告)号：CN115023478A

公开(公告)日：2022-09-06

申请号：CN202180010573.0

申请日：2021-01-22

Applicant: 日本瓦姆&珀巴尔株式会社

Inventor： 村上贵志 ,  木村佳弘

IPC: C09K3/14 ,  C08L29/04 ,  C08L71/02 ,  B24B37/00 ,  H01L21/304 ,  C08K3/36

Abstract: 本发明提供一种新型的研磨用组合物，该研磨用组合物含有水溶性高分子，水溶性高分子至少含有在20℃下的4％水溶液粘度为15mPa·s以上的乙烯醇系树脂。

公开(公告)号：CN115210337A

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202180010578.3

申请日：2021-01-22

Applicant: 日本瓦姆&珀巴尔株式会社

Inventor： 村上贵志 ,  木村佳弘

IPC: C09K3/14 ,  C08F8/12 ,  C08L29/04 ,  B82B1/00 ,  B24B37/04 ,  H01L21/304 ,  C08K3/36

Abstract: 本发明提供一种新型的研磨用组合物，该研磨用组合物以含有水溶性高分子而构成，所述水溶性高分子至少含有具有碳原子数为3以上的侧链基团的乙烯醇系树脂。