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公开(公告)号：CN112368308B
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN201980043582.2
申请日：2019-09-18
Applicant: 日本瑞翁株式会社(JP)
Inventor： 星野学
IPC: C08F220/22 , G03F7/039
Abstract: 本发明提供一种能够作为耐热性优异、且能够形成分辨率和清晰度优异的抗蚀剂图案的主链切断型的正型抗蚀剂而良好地使用的共聚物。该共聚物具有下述式(I)所表示的单体单元(A)和下述式(II)所表示的单体单元(B)，该共聚物的分子量分布为1.7以下。另外，式中，L为单键或2价的连结基团，Ar为能够具有取代基的芳香环基，R1为烷基，R2为烷基、卤素原子或卤代烷基，p为0以上且5以下的整数，在存在多个R2的情况下，它们彼此能够相同、也能够不同。
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