公开(公告)号：CN111567139A

公开(公告)日：2020-08-21

申请号：CN201980007526.3

申请日：2019-11-13

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 坂卷龙之介 ,  高冈胜哉 ,  渡边洋史

IPC: H05B3/12 ,  H01L21/683 ,  H05B3/02 ,  H05B3/74

Abstract: 一种保持装置及保持装置的制造方法，保持装置抑制由在发热电阻器的表面形成变质层引起的发热电阻器的电阻值(发热量)的偏差。保持装置具备：陶瓷构件，由以氮化铝为主要成分的陶瓷烧结体形成；金属制的发热电阻器，配置于陶瓷构件的内部；及导电性的供电构件，与发热电阻器接触，该保持装置是将对象物保持在陶瓷构件的表面上的装置。在本保持装置中，发热电阻器的表面中除了与供电构的接触面以外的表面的至少一部分被由氮化物形成的涂层覆盖，该氮化物含有Al、Ti、Zr、V、Ta和Nb中的至少1种。

公开(公告)号：CN111527790B

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN201980007168.6

申请日：2019-11-13

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 坂卷龙之介 ,  高冈胜哉 ,  渡边洋史

IPC: H05B3/02 ,  H01L21/683 ,  H05B3/10 ,  H05B3/74

Abstract: 一种保持装置及保持装置的制造方法，该保持装置抑制由供电连接构件的电阻值的偏差引起的发热电阻器的发热量的偏差。保持装置具备：陶瓷构件，由以氮化铝为主要成分的陶瓷烧结体形成；金属制的发热电阻器，配置于陶瓷构件的内部；与发热电阻器接触的导电性的供电连接构；及与供电连接构件电连接的导电性的供电端子，该保持装置是将对象物保持在陶瓷构件的表面上的装置。供电连接构件的表面中除了与发热电阻器的接触面及与供电端子的连接面以外的表面的至少一部分被由氮化物形成的涂层覆盖，该氮化物含有Al、Ti、Zr、V、Ta和Nb中的至少1种。

公开(公告)号：CN111567139B

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN201980007526.3

申请日：2019-11-13

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 坂卷龙之介 ,  高冈胜哉 ,  渡边洋史

IPC: H01L21/683 ,  H05B3/12 ,  H05B3/02 ,  H05B3/74

Abstract: 一种保持装置及保持装置的制造方法，保持装置抑制由在发热电阻器的表面形成变质层引起的发热电阻器的电阻值(发热量)的偏差。保持装置具备：陶瓷构件，由以氮化铝为主要成分的陶瓷烧结体形成；金属制的发热电阻器，配置于陶瓷构件的内部；及导电性的供电构件，与发热电阻器接触，该保持装置是将对象物保持在陶瓷构件的表面上的装置。在本保持装置中，发热电阻器的表面中除了与供电构的接触面以外的表面的至少一部分被由氮化物形成的涂层覆盖，该氮化物含有Al、Ti、Zr、V、Ta和Nb中的至少1种。

公开(公告)号：CN111527790A

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN201980007168.6

申请日：2019-11-13

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 坂卷龙之介 ,  高冈胜哉 ,  渡边洋史

IPC: H05B3/02 ,  H01L21/683 ,  H05B3/10 ,  H05B3/74

Abstract: 一种保持装置及保持装置的制造方法，该保持装置抑制由供电连接构件的电阻值的偏差引起的发热电阻器的发热量的偏差。保持装置具备：陶瓷构件，由以氮化铝为主要成分的陶瓷烧结体形成；金属制的发热电阻器，配置于陶瓷构件的内部；与发热电阻器接触的导电性的供电连接构；及与供电连接构件电连接的导电性的供电端子，该保持装置是将对象物保持在陶瓷构件的表面上的装置。供电连接构件的表面中除了与发热电阻器的接触面及与供电端子的连接面以外的表面的至少一部分被由氮化物形成的涂层覆盖，该氮化物含有Al、Ti、Zr、V、Ta和Nb中的至少1种。