保持构件和保持构件的制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118575267A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202380017291.2

    申请日:2023-03-15

    Abstract: 一种保持构件,其将α‑氧化铝作为主要成分,保持对象物,其特征在于,所述保持构件具有作为保持所述对象物的那一侧的面的保持面,在所述保持面形成有凸部和凹部,在底面包含γ‑氧化铝,所述底面划分出所述凹部的底部。

    保持构件和保持构件的制造方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118830072A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202380017289.5

    申请日:2023-03-15

    Abstract: 一种保持构件,其将α‑氧化铝作为主要成分,保持对象物,其特征在于,所述保持构件具有作为保持所述对象物的那一侧的面的保持面,在所述保持面形成有凸部和凹部,底面所包含的γ‑氧化铝的比例小于5%,所述底面划分出所述凹部的底部。

    保持构件和静电卡盘
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119054065A

    公开(公告)日:2024-11-29

    申请号:CN202380033069.1

    申请日:2023-03-15

    Abstract: 一种保持构件,其以陶瓷作为主要成分,用于保持对象物,其特征在于,保持构件具有作为保持对象物的那一侧的面的保持面,保持面中的至少一部分的表面由第1陶瓷晶体颗粒构成,比保持面靠内侧的部分由第2陶瓷晶体颗粒构成,作为第1陶瓷晶体颗粒的粒径的第1粒径比作为第2陶瓷晶体颗粒的粒径的第2粒径小。

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