公开(公告)号：CN113227759B

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN201980087117.9

申请日：2019-01-09

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 安斋由美子 ,  大泽贤太郎 ,  峰邑浩行 ,  西原宏幸 ,  菅谷昌和

IPC: G01N15/0205 ,  G01N15/0227

Abstract: 本发明的目的在于提供能够定量地计测在样品内进行布朗运动的粒子的尺寸分布的光计测技术。本发明的尺寸分布计测装置一边沿计测光的光轴方向扫描焦点位置，一边计测反射光强度，并按照其中最大的反射光强度计算粒子的尺寸分布(参照图9)。

公开(公告)号：CN113227759A

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN201980087117.9

申请日：2019-01-09

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 安斋由美子 ,  大泽贤太郎 ,  峰邑浩行 ,  西原宏幸 ,  菅谷昌和

IPC: G01N15/02

Abstract: 本发明的目的在于提供能够定量地计测在样品内进行布朗运动的粒子的尺寸分布的光计测技术。本发明的尺寸分布计测装置一边沿计测光的光轴方向扫描焦点位置，一边计测反射光强度，并按照其中最大的反射光强度计算粒子的尺寸分布(参照图9)。