公开(公告)号：CN110520958B

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN201880021028.X

申请日：2018-03-27

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 满欣 ,  东淳三

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/317

Abstract: 截面观察装置对物体照射带电粒子束而使物体的截面反复露出，并且对露出的多个该截面中的至少一部分截面照射带电粒子束而取得表示该至少一部分截面中的各个截面的截面像信息，生成取得的各个截面像信息所表示的每个该截面的截面像，从而生成将所生成的各个截面像叠加而得到的三维像，其中，截面观察装置将第1三维像与第2三维像一起进行显示，该第1三维像是将基于第1条件而取得的各个截面像信息所表示的该截面的截面像即第1截面像叠加而得到的三维像，该第2三维像是将基于第2条件而取得的各个截面像信息所表示的该截面的截面像即第2截面像叠加而得到的三维像。

公开(公告)号：CN110520958A

公开(公告)日：2019-11-29

申请号：CN201880021028.X

申请日：2018-03-27

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 满欣 ,  东淳三

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/317

Abstract: 截面观察装置对物体照射带电粒子束而使物体的截面反复露出，并且对露出的多个该截面中的至少一部分截面照射带电粒子束而取得表示该至少一部分截面中的各个截面的截面像信息，生成取得的各个截面像信息所表示的每个该截面的截面像，从而生成将所生成的各个截面像叠加而得到的三维像，其中，截面观察装置将第1三维像与第2三维像一起进行显示，该第1三维像是将基于第1条件而取得的各个截面像信息所表示的该截面的截面像即第1截面像叠加而得到的三维像，该第2三维像是将基于第2条件而取得的各个截面像信息所表示的该截面的截面像即第2截面像叠加而得到的三维像。