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公开(公告)号：CN108136342B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN201680045540.9
申请日：2016-08-04
Applicant: 日本戈尔合同会社
IPC: B01D71/36 , B01D69/10 , B01D69/12 , H01L21/304 , H05K3/06
Abstract: 本发明的目的是提供对强酸性洗涤剂和强碱性洗涤剂两者的耐性以及极微细的异物的除去能力都极为优异的、适合于电路基板制造用的加工液的过滤的电路基板制造加工液用精密滤膜，包括该精密滤膜的电路基板制造加工液用精密滤筒，以及使用经该电路基板制造加工液用精密滤膜或电路基板制造加工液用精密滤筒过滤的加工液来制造电路基板的方法。本发明的电路基板制造加工液用精密滤膜的特征在于，包含侧链中具有氨基的四氟乙烯共聚物(I)。
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