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公开(公告)号：CN104756012A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201380056108.6
申请日：2013-10-25
Applicant: 日本化药株式会社
CPC classification number: G03F7/0751 , G03F7/038 , G03F7/0755
Abstract: 本发明的目的是提供：感光环氧树脂组合物和/或所述树脂组合物的抗蚀剂层压体，其使得可以利用光刻法形成具有垂直侧壁形状和高分辨率、低应力和耐湿热性的图像；以及所述树脂组合物和所述抗蚀剂层压体的固化产物。本发明是包含如下的感光树脂组合物：(A)环氧树脂；(B)具有特定结构的多元酚化合物；(C)光阳离子聚合引发剂；和(D)含环氧基的硅烷化合物。环氧树脂(A)包含：通过式(1)表示的苯酚衍生物与表卤代醇反应得到的环氧树脂(A)；和式(2)表示的环氧树脂(b)。
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公开(公告)号：CN104756012B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201380056108.6
申请日：2013-10-25
Applicant: 日本化药株式会社
CPC classification number: G03F7/0751 , G03F7/038 , G03F7/0755
Abstract: 本发明的目的是提供：感光环氧树脂组合物和/或所述树脂组合物的抗蚀剂层压体，其使得可以利用光刻法形成具有垂直侧壁形状和高分辨率、低应力和耐湿热性的图像；以及所述树脂组合物和所述抗蚀剂层压体的固化产物。本发明是包含如下的感光树脂组合物：(A)环氧树脂；(B)具有特定结构的多元酚化合物；(C)光阳离子聚合引发剂；和(D)含环氧基的硅烷化合物。环氧树脂(A)包含：通过式(1)表示的苯酚衍生物与表卤代醇反应得到的环氧树脂(A)；和式(2)表示的环氧树脂(b)。
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公开(公告)号：CN104769499B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201380056176.2
申请日：2013-10-25
Applicant: 日本化药株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供：感光环氧树脂组合物和/或所述树脂组合物的抗蚀剂层压体，其使得可以利用光刻法形成具有垂直侧壁形状和高分辨率、低应力和耐湿热性的图像；以及所述树脂组合物和所述抗蚀剂层压体的固化产物。本发明是包含如下的感光树脂组合物：(A)环氧树脂；(B)具有特定结构的多元醇化合物；(C)光阳离子聚合引发剂；和(D)含环氧基的硅烷化合物。环氧树脂(A)包含：通过式(1)表示的苯酚衍生物与表卤代醇反应得到的环氧树脂(a)；和式(2)表示的环氧树脂(b)。
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公开(公告)号：CN104769499A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201380056176.2
申请日：2013-10-25
Applicant: 日本化药株式会社
CPC classification number: G03F7/0755 , B32B27/06 , B32B27/38 , B32B2559/00 , G03F7/038
Abstract: 本发明的目的是提供：感光环氧树脂组合物和/或所述树脂组合物的抗蚀剂层压体，其使得可以利用光刻法形成具有垂直侧壁形状和高分辨率、低应力和耐湿热性的图像；以及所述树脂组合物和所述抗蚀剂层压体的固化产物。本发明是包含如下的感光树脂组合物：(A)环氧树脂；(B)具有特定结构的多元醇化合物；(C)光阳离子聚合引发剂；和(D)含环氧基的硅烷化合物。环氧树脂(A)包含：通过式(1)表示的苯酚衍生物与表卤代醇反应得到的环氧树脂(a)；和式(2)表示的环氧树脂(b)。
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公开(公告)号：CN106662814B
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201580031504.2
申请日：2015-06-09
Applicant: 日本化药株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供，在半导体、MEMS/微型机械应用领域中，固化物的残留应力极低、湿热试验后与Pt、LT和Ta等金属基板的紧密贴合性优异的树脂组合物和/或其层叠体、及其固化物。本发明是含有(A)环氧树脂、(B)具有酚性羟基的化合物和(C)光阳离子聚合引发剂的感光性树脂组合物，其中，(A)环氧树脂的加权平均环氧当量为300g/eq.以上，且该(A)环氧树脂的20质量％以上是由下述式(1)表示、且环氧当量为500～4500g/eq.的环氧树脂，该(B)具有酚性羟基的化合物含有特定结构的苯酚化合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104813234B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201380061133.3
申请日：2013-11-21
Applicant: 日本化药株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供以下：感光环氧树脂组合物，其通过光刻法可形成高分辨率、低应力图像，所述图像具有垂直侧壁并且耐湿热；和/或利用所述感光环氧树脂组合物的抗蚀剂层压体；以及通过固化所述感光环氧树脂组合物和/或抗蚀剂层压体得到的制品。本发明是感光树脂组合物，其含有以下：环氧树脂(A)，具有特定结构的多元醇化合物(B)，阳离子聚合光引发剂(C)，含环氧基的硅烷化合物(D)，和具有特定结构的反应性环氧单体(E)。环氧树脂(A)含有式(1)表示的苯酚衍生物，通过与表卤代醇反应得到的环氧树脂(a)，和式(2)表示的环氧树脂(b)。
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公开(公告)号：CN103718108A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201280037959.1
申请日：2012-07-26
Applicant: 日本化药株式会社
Abstract: 本发明涉及一种碱显影型光敏树脂组合物，包含：多羧酸树脂(A)，其通过使在两末端具有环氧基并且环氧当量为600g/当量～1,300g/当量的双官能双酚环氧树脂(a)和具有醇羟基的一元羧酸化合物(b)的反应产物(ab)与多元酸酐(c)反应而得到；在一个分子中具有两个以上环氧基的环氧树脂(B)；以及光酸产生剂(C)，其中所述一元羧酸化合物(b)对所述环氧树脂(a)的1当量环氧基的加成率为80当量%以上；并且所述多元酸酐对所述反应产物(ab)的1当量伯羟基的加成率为80当量%以上。
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公开(公告)号：CN111406233B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN201880076887.9
申请日：2018-11-29
Applicant: 日本化药株式会社
Inventor： 今泉尚子
Abstract: 本发明的目的在于提供一种感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物保有良好的图像分辨率，且减少硬化物的湿热溶出污染，湿热接着性良好。本发明提供的感光性树脂组合物，含有(A)光阳离子聚合引发剂及(B)环氧化合物，前述(A)光阳离子聚合引发剂含有由下述式(1)表示的阴离子与阳离子所形成的盐，式(1)中，R1至R4分别独立地表示碳数1至18的烷基或碳数6至14的芳基。但是，R1至R4中的至少一者表示碳数6至14的芳基。R1至R4，可以分别独立地为具有全氟烷基作为取代基的苯基、或具有氟原子作为取代基的苯基。R1至R4可以分别独立地为五氟苯基或双(三氟甲基)苯基。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN111406233A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201880076887.9
申请日：2018-11-29
Applicant: 日本化药株式会社
Inventor： 今泉尚子
Abstract: 本发明的目的在于提供一种感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物保有良好的图像分辨率，且减少硬化物的湿热溶出污染，湿热接着性良好。本发明提供的感光性树脂组合物，含有(A)光阳离子聚合引发剂及(B)环氧化合物，前述(A)光阳离子聚合引发剂含有由下述式(1)表示的阴离子与阳离子所形成的盐，式(1)中，R1至R4分别独立地表示碳数1至18的烷基或碳数6至14的芳基。但是，R1至R4中的至少一者表示碳数6至14的芳基。R1至R4，可以分别独立地为具有全氟烷基作为取代基的苯基、或具有氟原子作为取代基的苯基。R1至R4可以分别独立地为五氟苯基或双(三氟甲基)苯基。
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公开(公告)号：CN106662814A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580031504.2
申请日：2015-06-09
Applicant: 日本化药株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供，在半导体、MEMS/微型机械应用领域中，固化物的残留应力极低、湿热试验后与Pt、LT和Ta等金属基板的紧密贴合性优异的树脂组合物和/或其层叠体、及其固化物。本发明是含有(A)环氧树脂、(B)具有酚性羟基的化合物和(C)光阳离子聚合引发剂的感光性树脂组合物，其中，(A)环氧树脂的加权平均环氧当量为300g/eq.以上，且该(A)环氧树脂的20质量％以上是由下述式(1)表示、且环氧当量为500～4500g/eq.的环氧树脂，该(B)具有酚性羟基的化合物含有特定结构的苯酚化合物。
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