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公开(公告)号：CN117099008A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202280025980.3
申请日：2022-03-29
Applicant: 住友电气工业株式会社 , 日新电机株式会社
IPC: G01R33/20
Abstract: 本发明的金刚石光磁传感器(100)包含：金刚石(102)，其具有带电子自旋的色心；传输电路(106)，其传输电磁波；以及照射部，其将由传输电路(106)传输的电磁波照射到金刚石(102)，传输电路(106)包含阻抗转换器(108)，该阻抗转换器(108)用于使输出电磁波的电磁波源(110)的阻抗从照射部观察时变低或变高，照射部包含谐振器(104)。
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公开(公告)号：CN117651874A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202280050481.X
申请日：2022-10-26
Applicant: 国立大学法人京都大学 , 日新电机株式会社
Abstract: 本发明高灵敏度地测定多个物理场之间的相位差。相位差测定装置(10)包括：电磁波照射部(2)，将用来对因与由交流信号产生的第一物理场或第二物理场的相互作用而发生变化的量子传感器元件(1)的电子自旋状态进行操作的电磁波重复照射至量子传感器元件(1)；及相位差测定部(3)，获取与第一物理场或第二物理场进行相互作用后的多个电子自旋状态，并基于所获取的多个电子自旋状态，对多个物理场之间的相位差进行测定。
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公开(公告)号：CN116745632A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202280010841.3
申请日：2022-01-26
Applicant: 住友电气工业株式会社 , 日新电机株式会社
IPC: G01R33/02
Abstract: 一种金刚石磁传感器单元，包括：传感器部，包括具有色心的金刚石，所述色心带有电子自旋；激发光照射部，向金刚石照射激发光；以及检测部，检测来自金刚石的色心的放射光，检测部检测通过不向金刚石照射电磁波而由激发光照射部向金刚石照射激发光从而产生的放射光，所述金刚石磁传感器单元能够包括导电部件，所述导电部件与传感器部间隔10mm以上而配置，传播电磁波。
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公开(公告)号：CN119698928A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202380059547.6
申请日：2023-12-28
Applicant: 日新电机株式会社
IPC: H05H1/46 , C23C16/509 , H01L21/3065
Abstract: 一种天线装置10，用于使高频电流流动而产生等离子体P，其包括：呈直线状的天线3；呈直管状的绝缘罩4，覆盖天线3的外侧周面3c；以及突出绝缘部5，设置在天线3的轴向两端部3a、3b之间，向比天线3的外侧周面3c更靠绝缘罩4的内侧周面4a侧突出，并且包含绝缘材料。
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公开(公告)号：CN118510939A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202380016467.2
申请日：2023-04-27
Applicant: 日新电机株式会社
IPC: C23C16/27 , H05H1/46 , C30B29/04 , C23C16/505 , H01L21/205
Abstract: 一种成膜装置，包括：真空容器，配置有基材；天线，在所述真空容器内产生感应耦合型等离子体，且具有电相互串联连接的导体部件与电容元件；高频电源，向所述天线供给高频电流；以及气体供给机构，向所述真空容器内供给包含C、H及O的原料气体，通过等离子体CVD法在所述真空容器内的所述基材上形成碳系薄膜，所述等离子体CVD法使用了通过在所述天线流动高频电流而在所述真空容器内产生的感应耦合型等离子体。
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公开(公告)号：CN117157546A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202280011673.X
申请日：2022-01-26
Applicant: 住友电气工业株式会社 , 日新电机株式会社
IPC: G01R33/02
Abstract: 一种金刚石传感器单元，包括：金刚石，具有色心，所述色心带有电子自旋；激发光照射部，向金刚石照射激发光；第一贴片天线，接收电磁波；电磁波照射部，向金刚石照射由第一贴片天线接收到的电磁波；检测部，检测在向金刚石照射激发光及电磁波之后从金刚石的色心放射的放射光；以及光波导，传输激发光及放射光。
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