检查方法和检查系统
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105866181A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610185921.9

    申请日:2012-12-26

    CPC classification number: G01N27/02

    Abstract: 本发明涉及检查方法和检查系统,能够对层叠膜中的未贯通层叠膜的缺陷进行检查,该层叠膜是通过在金属层的两面层叠绝缘层而形成的。检查方法是对层叠膜的缺陷进行检查的检查方法,该层叠膜是通过在金属层的两面上层叠绝缘层而形成的,该检查方法包括电压施加步骤工序和检测步骤工序。在电压施加步骤工序中,一边向层叠膜的表面提供导电性液体,一边在对第一电极与第二电极之间施加电压,该第一电极与被提供该液体的层叠膜的表面相接触,该第二电极与从层叠膜的端部暴露的金属层的端部相接触。在检测步骤工序中,对被施加电压的第一与第二电极之间的通电状态进行检测。

    检查方法和检查系统

    公开(公告)号:CN103175867A

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201210576496.8

    申请日:2012-12-26

    Abstract: 本发明涉及检查方法和检查系统,能够对层叠膜中的未贯通层叠膜的缺陷进行检查,该层叠膜是通过在金属层的两面层叠绝缘层而形成的。检查方法是对层叠膜的缺陷进行检查的检查方法,该层叠膜是通过在金属层的两面上层叠绝缘层而形成的,该检查方法包括电压施加步骤工序和检测步骤工序。在电压施加步骤工序中,一边向层叠膜的表面提供导电性液体,一边在对第一电极与第二电极之间施加电压,该第一电极与被提供该液体的层叠膜的表面相接触,该第二电极与从层叠膜的端部暴露的金属层的端部相接触。在检测步骤工序中,对被施加电压的第一与第二电极之间的通电状态进行检测。

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