光学部件的检查方法、检查装置以及制造方法

    公开(公告)号:CN118613718A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202380019154.2

    申请日:2023-03-23

    Inventor: 佐佐木俊介

    Abstract: 本发明提供一种能够判定设置于照明装置用的光学部件的一个表面的凹部的异常的光学部件的检查方法等。是一种对在一个表面(10a)具有凹部(11)的照明装置用的光学部件(10)进行检查的方法,光学部件(10)的检查方法包括从照明部(1)对倾斜部照射光,照明部(1)配置在光学部件(10)的另一个表面(10b)侧,向与凹部的倾斜部(11a)相同的方向倾斜,且具有相对于另一个表面的法线方向以预定的倾斜角度(θ)倾斜的光轴(1A),利用配置在一个表面侧,且具有沿着一个表面的法线方向的视轴(2A)的拍摄部(2)对倾斜部照射,并对透过光学部件的光进行拍摄,由此生成拍摄图像的步骤和通过对拍摄图像进行图像处理,提取拍摄图像中的具有预定的阈值以上的像素值的像素区域,并基于像素区域的面积的大小以判定凹部的异常的步骤。

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