导电性薄膜和其图案化方法

    公开(公告)号:CN111240507A

    公开(公告)日:2020-06-05

    申请号:CN201911181999.3

    申请日:2019-11-27

    Abstract: 本发明涉及导电性薄膜和其图案化方法。提供:铜层的稳定性优异、且能容易地将铜层进行图案化、能抑制透明导电层内的金属层的损伤的导电性薄膜和其图案化方法。导电性薄膜(1)具备:透明基材(2);透明导电层(3),其配置于透明基材(2)的上侧,且依次具备第1无机氧化物层(6)、金属层(7)和第2无机氧化物层(8);铜层(4),其配置于透明导电层(3)的上侧;和,铜的氧化物层(5),其配置于铜层(4)的上侧。

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