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公开(公告)号:CN112912238A
公开(公告)日:2021-06-04
申请号:CN201980068573.9
申请日:2019-11-06
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 透光性薄膜1朝着厚度方向的一侧依次具备透光性基材薄膜2和透光性导电层3。透光性导电层3朝着厚度方向的一侧依次具备第一无机氧化物层4、金属层5和第二无机氧化物层。第二无机氧化物层6朝着厚度方向的一侧依次具有含有铟和锌的第一区域31以及不含锌的第二区域32。第一区域31中的锌的摩尔数小于铟的摩尔数。
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公开(公告)号:CN111240507A
公开(公告)日:2020-06-05
申请号:CN201911181999.3
申请日:2019-11-27
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: G06F3/041
Abstract: 本发明涉及导电性薄膜和其图案化方法。提供:铜层的稳定性优异、且能容易地将铜层进行图案化、能抑制透明导电层内的金属层的损伤的导电性薄膜和其图案化方法。导电性薄膜(1)具备:透明基材(2);透明导电层(3),其配置于透明基材(2)的上侧,且依次具备第1无机氧化物层(6)、金属层(7)和第2无机氧化物层(8);铜层(4),其配置于透明导电层(3)的上侧;和,铜的氧化物层(5),其配置于铜层(4)的上侧。
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