防反射薄膜的制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117626193A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311108590.5

    申请日:2023-08-30

    Abstract: 提供一种防反射薄膜的制造方法,其能够得到在抑制制造时的薄膜基材的变形的同时、高温耐久性优异的防反射薄膜。防反射薄膜的制造方法具备工序Sa和工序Sb。在工序Sa中,使用稀有气体和氧气对薄膜基材(13)的一个主面(12a)进行轰击处理。在工序Sb中,在经过轰击处理的主面(12a)侧上成膜防反射层(19)。在工序Sb中成膜的防反射层(19)由多层膜形成,该多层膜包含氧化铌薄膜、以及与氧化铌薄膜折射率不同的无机薄膜。

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