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公开(公告)号：CN112744778B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN201911037132.0
申请日：2019-10-29
Applicant: 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 一种条纹状结构的电热式扭转驱动器1，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1的一端连接固定端2，另一端连接可动单元3，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1由至少两种热膨胀系数不同材料组成的薄膜构成，分别为上层薄膜1‑1和下层薄膜1‑2，其中上层薄膜1‑1包含两个或两个以上的带状结构，该带状结构间隔排列在下层薄膜1‑2上，带状结构与其下部的下层薄膜1‑2组成扭转单元4，每个扭转单元4的中心线4‑1可为直线或曲线并与固定端2的端面形成倾斜角，当该条纹状结构的电热式扭转驱动器1温度变化时，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1产生扭转，从而带动可动单元3转动。优点：解决了现有电热式MEMS驱动器不易扭转的技术问题，具有结构简单、易实现的特点。
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公开(公告)号：CN113120848B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN201911408258.4
申请日：2019-12-31
Applicant: 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 一种制作电热式MEMS驱动臂的方法，包括如下步骤：1）、选择高阻硅作为衬底；2）、在衬底上进行图形化，形成预先设计的导电回路图形的掩模；3）、使用注入法或扩散法对衬底进行掺杂，形成导电回路，该导电回路作为加热电阻层；4）、在加热电阻层上制作绝缘材料作为绝缘层；5）、在绝缘层上制作高热膨胀系数的材料作为第一结构层；6）、刻蚀衬底的底部，留下设定厚度的高阻硅作为第二结构层；7）、在衬底的上部按照预先设计的MEMS驱动臂形状进行正面图形化刻蚀；最终完成该电热式MEMS驱动臂的制作。优点：硅既作为结构层的同时，由作为加热电阻层，免除了还要做加热电阻层的麻烦，简化了电热式MEMS驱动臂的加热电阻层的工艺步骤，提供了效率。
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公开(公告)号：CN112744777B
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN201911036626.7
申请日：2019-10-29
Applicant: 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 一种电热式MEMS扭转驱动器，其特征在于该电热式MEMS扭转驱动器1由至少两种热膨胀系数不同材料组成的薄膜结构，该电热式MEMS扭转驱动器一端固定，另一端连接可动单元2，该电热式MEMS扭转驱动器中心线3不与固定端面垂直，且中心线3的斜率没有拐点，当电热式MEMS扭转驱动器1温度升高时，电热式MEMS扭转驱动器1绕x轴方向转动，从而带动可动单元2转动。优点：解决了现有电热式MEMS驱动器不易扭转的技术问题，具有结构简单、易实现的特点。
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公开(公告)号：CN113120847B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN201911402850.3
申请日：2019-12-31
Applicant: 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 一种使用SOI圆片制作电热式MEMS驱动臂的方法，包括如下步骤：步骤1）、选择SOI圆片作为衬底1；步骤2）、对顶硅层1‑3进行离子掺杂形成低阻硅，作为加热电阻层4；步骤3）、在加热电阻层4上制作绝缘材料作为绝缘层5；步骤4）、在绝缘层5上制作高热膨胀系数的材料作为第一结构层6；步骤5）、刻蚀衬底1的底部至氧埋层1‑2；步骤6）、在衬底1的上部按照预先设计的MEMS驱动臂形状进行正面图形化刻蚀；最终完成该电热式MEMS驱动臂的制作，其中步骤5）和步骤6）可以互换。优点：硅既作为结构层的同时，又作为加热层，免除了还要做加热层的麻烦，采用离子注入的方法制作加热层，简化了电热式MEMS驱动臂的加热层的工艺步骤，提高了效率。
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