公开(公告)号：CN118898597A

公开(公告)日：2024-11-05

申请号：CN202411061770.7

申请日：2024-08-05

Applicant: 扬州大学 ,  无锡市锡山区半导体先进制造创新中心

Inventor： 路恩会 ,  任文祥 ,  刘坚 ,  朱兴龙 ,  缪宏 ,  王俊杰

IPC: G06T7/00 ,  G01B11/30

Abstract: 一种提升视觉粗糙度测量精度的成像光源干扰消融装置及干扰消融方法，属于表面粗糙度或不规则性检测技术领域，装置由底板、横向支架、工作台、激光器、背板、纵向支架、分光镜和反射镜连接构成，当激光器发出光束后，依次经过分光镜、反射镜及待测量件后，被CCD相机捕捉到两个激光光斑，CCD相机与计算机相连，通过计算机显示器，实时观察和采集激光斑点。本发明干扰消融装置组成结构简单，测量过程中可对各部件之间的中心距进行微调，操作方便，能准确获取参考光斑和表面反射光斑的全参考图片，可有效消除入射光源亮度变化对粗糙度测量的影响，不仅对所有表面粗糙度测量有效，对视觉测距方面同样有效，测量结果更加精确，适用范围面较广。

公开(公告)号：CN119085544A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202411393938.4

申请日：2024-10-08

Applicant: 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心

Inventor： 刘坚 ,  路恩会 ,  郑龙 ,  任文祥 ,  缪宏

IPC: G01B11/30 ,  G01B5/00

Abstract: 本发明公开了一种粗糙度测量系统及方法，其中，粗糙度测量系统包括：旋转位移组件、光源发射器、分光镜、图像采集器和图像处理器；分光镜布置在沿着光源发射器所发射的激光光轴方向的第一位置；旋转位移组件和图像采集器分别固定在第一位置两侧的第二位置和第三位置，第一位置、第二位置和第三位置同轴设置，且第一位置、第二位置和第三位置的连线与激光的光轴垂直；待测物体容置在旋转位移组件上，且待测物体的待测表面面向所述图像采集器；分光镜可将激光垂直反射至待测表面，并将从待测表面反射的反射光透射至所述图像采集器；图像处理器适于从图像数据中提取与粗糙度相关的关联特征，从而计算出待测表面的粗糙度值。