一种具有高散热性能的半导体光放大器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118572512A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202410613303.4

    申请日:2024-05-17

    Applicant: 无锡学院

    Abstract: 本发明公开了一种具有高散热性能的半导体光放大器及其制备方法,包括键合为一体的半导体光放大器芯片和石墨烯基板,其中,所述半导体光放大器芯片的键合面设有若干个均匀分布的凸起微结构,所述石墨烯基板的键合面设有若干个均匀分布的凹槽微结构,所述凸起微结构与所述凹槽微结构互相匹配,所述半导体光放大器芯片的凸起微结构能够嵌入所述石墨烯基板的凹槽微结构内。本发明通过石墨烯粘附能低、表面能高的特点,直接将经过微结构化处理后的石墨烯与半导体光放大器键合。相比于传统的半导体光放大器利用陶瓷基板进行导热,本发明将陶瓷基板替换为导热性更好的石墨烯,且无需其它胶类辅助粘黏,大大提高了散热性能,简化了工序流程。

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