公开(公告)号：CN107808675A

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201610814757.3

申请日：2016-09-09

Applicant: 新科实业有限公司

Inventor： 李文杰 ,  陈建伦 ,  傅之浩 ,  余枝超 ,  余俊杰 ,  谢珉 ,  梁卓荣 ,  丁菊仁

IPC: G11B5/127 ,  G05B15/02

CPC classification number: G11B5/127 ,  G05B15/02

Abstract: 本发明申请公开了一种磁头滑块的加工测试方法、加工测试监控装置及加工设备，所述磁头滑块的加工测试方法包括：提供至少一个应力传感器于晶圆中，以及提供控制装置与所述应力传感器连接；利用加工装置将所述晶圆加工成磁头滑块，所述控制装置在磁头滑块加工过程中监控所述应力传感器的性能参数以确定当前加工参数是否合适，并在当前加工参数不合规格时，向所述加工装置发出调整信号，所述加工装置根据所述调整信号调整加工参数。本发明申请可以实时监控磁头滑块的加工测试，从而更有效方便地对磁头滑块进行加工测试。

公开(公告)号：CN107808675B

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：CN201610814757.3

申请日：2016-09-09

Applicant: 新科实业有限公司

Inventor： 李文杰 ,  陈建伦 ,  傅之浩 ,  余枝超 ,  余俊杰 ,  谢珉 ,  梁卓荣 ,  丁菊仁

IPC: G11B5/127 ,  G05B15/02

Abstract: 本专利申请公开了一种磁头滑块的加工测试方法、加工测试监控装置及加工设备，所述磁头滑块的加工测试方法包括：提供至少一个应力传感器于晶圆中，以及提供控制装置与所述应力传感器连接；利用加工装置将所述晶圆加工成磁头滑块，所述控制装置在磁头滑块加工过程中监控所述应力传感器的性能参数以确定当前加工参数是否合适，并在当前加工参数不合规格时，向所述加工装置发出调整信号，所述加工装置根据所述调整信号调整加工参数。本专利申请可以实时监控磁头滑块的加工测试，从而更有效方便地对磁头滑块进行加工测试。