公开(公告)号：CN103558734B

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201310475632.9

申请日：2010-04-23

Applicant: 新日铁住金化学株式会社

Inventor： 吉冈敬裕 ,  佐佐木健了 ,  藤城光一 ,  板原俊英

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027

Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物和固化膜以及隔壁。提供一种即便在得到厚膜的固化膜的情况下也可以得到图案尺寸稳定性等出色的良好的图案、且即便在使用碳等导电性材料作为遮光性成分的情况下体积电阻也不会降低的感光性树脂组合物、使用其形成的固化膜和隔壁。本发明的感光性树脂组合物，其特征在于，是以（i）光固化性树脂和/或光固化性单体、及（ii）丙烯酸树脂粒子为必须成分的感光性树脂组合物，（ii）成分的丙烯酸树脂粒子的一次粒径的平均值为50～200nm，上述组合物中的（ii）丙烯酸树脂粒子和（i）光固化性树脂和/或光固化性单体的重量比（（ii）/（i））为0.1～2.0的范围。另外，使用该感光性树脂组合物形成固化膜及隔壁。

公开(公告)号：CN103558734A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201310475632.9

申请日：2010-04-23

Applicant: 新日铁住金化学株式会社

Inventor： 吉冈敬裕 ,  佐佐木健了 ,  藤城光一 ,  板原俊英

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027

Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物和固化膜以及隔壁。提供一种即便在得到厚膜的固化膜的情况下也可以得到图案尺寸稳定性等出色的良好的图案、且即便在使用碳等导电性材料作为遮光性成分的情况下体积电阻也不会降低的感光性树脂组合物、使用其形成的固化膜和隔壁。本发明的感光性树脂组合物，其特征在于，是以（i）光固化性树脂和/或光固化性单体、及（ii）丙烯酸树脂粒子为必须成分的感光性树脂组合物，（ii）成分的丙烯酸树脂粒子的一次粒径的平均值为50～200nm，上述组合物中的（ii）丙烯酸树脂粒子和（i）光固化性树脂和/或光固化性单体的重量比（（ii）/（i））为0.1～2.0的范围。另外，使用该感光性树脂组合物形成固化膜及隔壁。

公开(公告)号：CN101872121B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201010159043.6

申请日：2010-04-23

Applicant: 新日铁住金化学株式会社

Inventor： 吉冈敬裕 ,  佐佐木健了 ,  藤城光一 ,  板原俊英

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335

Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物和固化膜以及隔壁。提供一种即便在得到厚膜的固化膜的情况下也可以得到图案尺寸稳定性等出色的良好的图案、且即便在使用碳等导电性材料作为遮光性成分的情况下体积电阻也不会降低的感光性树脂组合物、使用其形成的固化膜和隔壁。本发明的感光性树脂组合物，其特征在于，是以(i)光固化性树脂和/或光固化性单体、及(ii)丙烯酸树脂粒子为必须成分的感光性树脂组合物，(ii)成分的丙烯酸树脂粒子的一次粒径的平均值为50～200nm，上述组合物中的(ii)丙烯酸树脂粒子和(i)光固化性树脂和/或光固化性单体的重量比((ii)/(i))为0.1～2.0的范围。另外，使用该感光性树脂组合物形成固化膜及隔壁。