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公开(公告)号：CN101093361A
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200710106775.7
申请日：2007-06-20
Applicant: 新光电气工业株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03B27/58 , G03F7/70291 , G03F7/70358
Abstract: 本发明公开一种图案形成方法及其计算机可读介质，在利用分配给沿对象物的相对移动方向限定的各个曝光区域的多个空间光调制元件使该对象物的表面曝光以在该对象物的表面上形成所希望的图案的图案形成装置中，在该对象物沿与相对移动方向垂直的方向移动，使得该对象物的表面上位于各个曝光区域的边界附近的预定区域位于由空间光调制元件曝光的曝光区域的中心部分附近之后，所述预定区域由与曝光区域对应的空间光调制元件曝光。
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