公开(公告)号：CN112985251B

公开(公告)日：2022-12-13

申请号：CN202110313840.3

申请日：2021-03-24

Applicant: 新乡学院

Inventor： 郭贵中 ,  侯树森 ,  付欢 ,  李晓堃 ,  李峥

IPC: G01B7/28

Abstract: 本申请涉及一种微观表面形貌测量装置及方法。本发明包括音叉式石英晶振和粘贴在音叉式石英晶振振臂内侧的尖状物所组成的探测头、扬声器，采用音叉式石英晶振作为基本距离探测器件，晶振顶端在最优位置安装尖状物以增强相互作用力，提高距离分辨率并且对振臂间隙，振臂长，叉指宽度，叉指厚度关系提供了更优解；加外部扬声器作为高度调谐件，对音叉高度进行微调，可以使样品在高度不变的情况下，直接提取音叉与样品间的距离信号，另外，整体装置使用的器件都是便宜的非光学器件，性价比高，适合大面积的推广应用。

公开(公告)号：CN112985251A

公开(公告)日：2021-06-18

申请号：CN202110313840.3

申请日：2021-03-24

Applicant: 新乡学院

Inventor： 郭贵中 ,  侯树森 ,  付欢 ,  李晓堃 ,  李峥

IPC: G01B7/28

Abstract: 本申请涉及一种微观表面形貌测量装置及方法。本发明包括音叉式石英晶振和粘贴在音叉式石英晶振振臂内侧的尖状物所组成的探测头、扬声器，采用音叉式石英晶振作为基本距离探测器件，晶振顶端在最优位置安装尖状物以增强相互作用力，提高距离分辨率并且对振臂间隙，振臂长，叉指宽度，叉指厚度关系提供了更优解；加外部扬声器作为高度调谐件，对音叉高度进行微调，可以使样品在高度不变的情况下，直接提取音叉与样品间的距离信号，另外，整体装置使用的器件都是便宜的非光学器件，性价比高，适合大面积的推广应用。