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公开(公告)号:CN117108743A
公开(公告)日:2023-11-24
申请号:CN202310532819.1
申请日:2023-05-12
Applicant: 新东工业株式会社
Abstract: 本发明提供真空密封装置和真空室装置。真空密封装置(15)具备第1辊(21)、与第1辊接触的第2辊(22)、具有保持第1辊并与第1辊同轴的第1空间(25a)的第1保持构件(25)、具有保持第2辊(22)并与第2辊同轴的第2空间(26a)的第2保持构件(26)。第1保持构件的内周面(26c)与第1辊的外周面相对,通过使第1辊与第2辊对应地旋转,使片材通过。