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公开(公告)号：CN115081786A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210223059.1
申请日：2022-03-07
Applicant: 新东工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种管理装置、管理方法、管理程序以及存储介质。管理装置具备：取得部，其取得表示多个对象物各自的检查结果的检查结果数据、和表示多个对象物各自的加工所使用的加工条件的加工条件数据；分析部，其在多个加工参数中选定与检查结果具有相关性的特定参数；以及预测部，其基于特定参数的值的随时间的变化，预测加工装置是否未来产生异常。
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