真空装置以及真空装置的真空容器内的压力控制方法

    公开(公告)号:CN103635688A

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN201280032872.5

    申请日:2012-05-14

    CPC classification number: F04C23/005 F04B37/14 F04B41/06 F04C18/0207 F04C25/02

    Abstract: 本发明提供无需使用昂贵的质量流量控制器、不会大量消耗导入气体就能够控制真空容器内的压力的真空装置以及真空装置的真空容器内的压力控制方法。真空装置(1)具备真空容器(2)、测定真空容器(2)的内部的压力的真空计(3)、对真空容器(2)进行真空排气的第一真空泵(4)、传导阀(5)、经由传导阀(5)与真空容器(2)连接的第二真空泵(6)、朝真空容器(2)供给气体的气体供给单元(7)、以及基于真空计(3)的输出将真空容器(2)的内部的压力控制成控制压力的控制装置(8)。第二真空泵(6)是以内部的压力高于真空容器(2)的内部的压力(控制压力)的方式选定的干式真空泵,且构成为由气体供给单元(7)供给的气体在泵内部从排气口(6b)朝吸气口(6a)流通。

    真空装置以及真空装置的真空容器内的压力控制方法

    公开(公告)号:CN103635688B

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201280032872.5

    申请日:2012-05-14

    CPC classification number: F04C23/005 F04B37/14 F04B41/06 F04C18/0207 F04C25/02

    Abstract: 提供无需使用昂贵的质量流量控制器、不会大量消耗导入气体就能够控制真空容器内的压力的真空装置以及真空装置的真空容器内的压力控制方法。真空装置(1)具备真空容器(2)、测定真空容器(2)的内部的压力的真空计(3)、对真空容器(2)进行真空排气的第一真空泵(4)、传导阀(5)、经由传导阀(5)与真空容器(2)连接的第二真空泵(6)、朝真空容器(2)供给气体的气体供给单元(7)、以及基于真空计(3)的输出将真空容器(2)的内部的压力控制成控制压力的控制装置(8)。第二真空泵(6)是以内部的压力高于真空容器(2)的内部的压力(控制压力)的方式选定的干式真空泵,且构成为由气体供给单元(7)供给的气体在泵内部从排气口(6b)朝吸气口(6a)流通。

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