公开(公告)号：CN101331801B

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：CN200680047301.3

申请日：2006-12-15

申请人： 斗山MECATEC株式会社

发明人： 韩承镇 ,  睦镇一 ,  金炳津 ,  宋河轸 ,  金海源 ,  黄昌勋 ,  孙钟焕 ,  南承勋

IPC分类号： H01L51/48

CPC分类号： Y02E10/549

摘要： 本发明公开了一种用于沉积有机薄膜的坩埚组件。该坩埚组件包括：本体，用以容纳用于薄膜的沉积的有机材料；盖，其固定到所述本体的上部并具有用于以气相散射所述有机材料的喷嘴；并且所述喷嘴从盖的顶部向下延伸。因此，它防止了熔融的有机材料从本体和盖的接合部溢出而由此污染包括加热器的加热装置和坩埚组件的壁。可以容易地安装或分离折流板。通过控制有机材料蒸汽的散射角度和图案，可以减少浪费的有机材料的量。它防止了有机材料的沉积被局部地集中，例如被集中到基材的中心部分。

公开(公告)号：CN101331801A

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：CN200680047301.3

申请日：2006-12-15

申请人： 斗山MECATEC株式会社

发明人： 韩承镇 ,  睦镇一 ,  金炳津 ,  宋河轸 ,  金海源 ,  黄昌勋 ,  孙钟焕 ,  南承勋

IPC分类号： H05B33/10

CPC分类号： Y02E10/549

摘要： 本发明公开了一种用于沉积有机薄膜的坩埚组件。该坩埚组件包括：本体，用以容纳用于薄膜的沉积的有机材料；盖，其固定到所述本体的上部并具有用于以气相散射所述有机材料的喷嘴；并且所述喷嘴从盖的顶部向下延伸。因此，它防止了熔融的有机材料从本体和盖的接合部溢出而由此污染包括加热器的加热装置和坩埚组件的壁。可以容易地安装或分离折流板。通过控制有机材料蒸汽的散射角度和图案，可以减少浪费的有机材料的量。它防止了有机材料的沉积被局部地集中，例如被集中到基材的中心部分。