公开(公告)号：CN1211467A

公开(公告)日：1999-03-24

申请号：CN98109443.0

申请日：1998-04-10

申请人： 拉贝勒公司

发明人： T·拉德里奇 ,  G·奎尼里 ,  H·杜菲

IPC分类号： B01F3/08

CPC分类号： G05D21/02 ,  B01J19/0006 ,  B01J2219/00186 ,  G05D11/138 ,  Y10T137/0329

摘要： 本发明涉及一种对意图在微电子工业中使用的超纯化学品进行稀释的系统。为此目的,具有与微电子工业要求纯度相符的预定纯度P的浓缩化学品通过使用纯度至少与P相等的水稀释,并在稀释罐内再循环稀释过的化学品来调节溶液的滴度,优选方式为然后取出稀释化学品的样品,以便核查其滴度预先验证过的稀释化学品的纯度。

公开(公告)号：CN1103626C

公开(公告)日：2003-03-26

申请号：CN98109443.0

申请日：1998-04-10

申请人： 拉贝勒公司

发明人： T·拉德里奇 ,  G·奎尼里 ,  H·杜菲

IPC分类号： B01F3/08

CPC分类号： G05D21/02 ,  B01J19/0006 ,  B01J2219/00186 ,  G05D11/138 ,  Y10T137/0329

摘要： 本发明涉及一种对意图在微电子工业中使用的超纯化学品进行稀释的系统。为此目的，具有与微电子工业要求纯度相符的预定纯度P的浓缩化学品通过使用纯度至少与P相等的水稀释，并在稀释罐内再循环稀释过的化学品来调节溶液的滴度，优选方式为然后取出稀释化学品的样品，以便核查其滴度预先验证过的稀释化学品的纯度。

公开(公告)号：CN1204550A

公开(公告)日：1999-01-13

申请号：CN98109442.2

申请日：1998-04-10

申请人： 拉贝勒公司

发明人： T·拉德里奇 ,  H·杜菲

IPC分类号： B01F1/00

摘要： 一种可用于微电子工业的高纯液体化学品的制备方法,其特征在于该方法从一种化学品气体开始,该气体逆流流过最初的去离子高纯水溶液而在两个纯化塔中连续地进行纯化,所述去离子水逐渐充满杂质,同时离开第二纯化塔时的气体具有高的纯度,尤其是金属元素的含量低,和特征在于在填料塔内接着将纯化气体溶解,收集于塔的底部并富含纯化的化学气体的液体连续地再循环到填料塔中,和特征在于当已达到溶解气体的浓度时,接着分配高纯化学品。