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公开(公告)号:CN112510148B
公开(公告)日:2023-03-17
申请号:CN202011421662.8
申请日:2020-12-08
Applicant: 扬州大学
Abstract: 本发明公开了存储器技术领域内的一种阻变存储器及其制备方法,包括自下而上依次设置的底电极、介质层和顶电极,底电极为活性电极Ag、Cu或亲氧电极W、Ti、TiN中的一种,介质层包括至少一种氧化层和一种聚合物的薄膜,顶电极包括惰性电极Pt、Au或Pd中的一种;使用本发明制备出的阻变存储器开关比高,提高复位电压的均匀性。
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公开(公告)号:CN111883656A
公开(公告)日:2020-11-03
申请号:CN202010952340.X
申请日:2020-09-11
IPC: H01L45/00
Abstract: 本发明公开了存储器技术领域内的一种忆阻器及其制备方法,包括自下而上依次设置的底电极、介质层和顶电极,底电极包括活性电极Ag、Cu或亲氧电极W、Ti、TiN中的一种,介质层包括为至少两种氧化层交替沉积的多层膜,顶电极包括惰性电极Pt、Au;使用本发明制备出的忆阻器能提高存储器的擦写速度并降低能耗。
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公开(公告)号:CN111883656B
公开(公告)日:2025-01-10
申请号:CN202010952340.X
申请日:2020-09-11
Abstract: 本发明公开了存储器技术领域内的一种忆阻器及其制备方法,包括自下而上依次设置的底电极、介质层和顶电极,底电极包括活性电极Ag、Cu或亲氧电极W、Ti、TiN中的一种,介质层包括为至少两种氧化层交替沉积的多层膜,顶电极包括惰性电极Pt、Au;使用本发明制备出的忆阻器能提高存储器的擦写速度并降低能耗。
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