公开(公告)号：CN118541544A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202380017116.3

申请日：2023-01-16

申请人： 托卡马克能量有限公司

发明人： 胡安·贝纳亚斯 ,  薇薇安·李 ,  罗伯特·班贝尔 ,  帕特里克·布丁 ,  加桑·安塔尔 ,  西蒙·汉克斯 ,  康斯坦丁·莫什库诺夫

IPC分类号： F04B37/02 ,  F04B37/04 ,  G21B1/05 ,  G21B1/17 ,  H01J41/12

摘要： 一种在处于部分真空的腔室中操作蒸发泵系统(100)的方法包括以下步骤：加热吸气剂源(102)以形成吸气剂蒸气；将所述吸气剂蒸气沉积到布置在所述腔室内的第一目标表面(106)上以形成吸气剂层(107)；和在所述腔室内提供更新的目标表面，并且所述吸气剂蒸气可以沉积到所述更新的目标表面上。在最后一步中，所述更新的目标表面通过以下步骤提供：(i)从所述第一目标表面(106)至少部分地移除所述吸气剂层(107)和存在于所述吸气剂层(107)内的任何化学吸附的产物和/或物理吸附的产物，在所述腔室内执行所述步骤；和/或(ii)在所述腔室内布置第二目标表面，其中，所述吸气剂源(102)包括锂。