公开(公告)号：CN106486601A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201610807905.9

申请日：2014-04-24

Applicant: 成均馆大学校产学协力团 ,  三星显示有限公司

Inventor： 赵成珉 ,  郑昊均 ,  蔡熙烨 ,  徐祥准 ,  徐昇旴

IPC: H01L51/44 ,  H01L51/52 ,  C23C28/00

Abstract: 本发明提供一种多层封装薄膜和用于制备多层封装薄膜的方法和装置。所述多层封装薄膜包含含有金属氧化物的无机薄膜和含有聚合物的在所述有机薄膜上形成的有机薄膜，其中，所述无机薄膜和所述有机薄膜以多层结构形式交替堆叠。

公开(公告)号：CN104134756A

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201410168188.0

申请日：2014-04-24

Applicant: 成均馆大学校产学协力团

Inventor： 赵成珉 ,  郑昊均 ,  蔡熙烨 ,  徐祥准 ,  徐昇旴

IPC: H01L51/52 ,  H01L51/54 ,  H01L51/56

CPC classification number: C23C16/44 ,  C23C28/00 ,  C23C28/42 ,  H01L51/448 ,  H01L51/5256 ,  Y02E10/549 ,  Y10T428/269 ,  Y10T428/31663 ,  Y10T428/31855 ,  Y10T428/31935

Abstract: 本发明提供一种多层封装薄膜和用于制备多层封装薄膜的方法和装置。所述多层封装薄膜包含含有金属氧化物的无机薄膜和含有聚合物的在所述有机薄膜上形成的有机薄膜，其中，所述无机薄膜和所述有机薄膜以多层结构形式交替堆叠。