公开(公告)号：CN105473761A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201480023046.3

申请日：2014-08-04

Applicant: 成均馆大学校产学协力团

Inventor： 徐祥准 ,  朴华仙 ,  郑昊均 ,  赵成珉 ,  刘址范

IPC: C23C16/44

CPC classification number: C23C16/06 ,  C23C16/30 ,  C23C16/44

Abstract: 一种薄膜沉积装置被提供。该装置包括衬底装载单元，其被配置来将衬底装载在该衬底装载单元上；衬底运输单元，其与所述衬底装载单元连接且被配置来移动所述衬底；和薄膜沉积单元，其被配置来在所述衬底上沉积薄膜，其中所述薄膜沉积单元包括多个等离子体模块，还有提供在各个所述等离子体模块之间且被配置为通过升高或降低来连接相邻等离子体模块下面的空间或使相邻等离子体模块下面的空间彼此隔离的隔离构件，且所述衬底运输单元在所述多个等离子体模块之间轮流移动所述衬底装载单元从而允许薄膜被形成在所述衬底上。

公开(公告)号：CN105473761B

公开(公告)日：2018-02-02

申请号：CN201480023046.3

申请日：2014-08-04

Applicant: 成均馆大学校产学协力团

Inventor： 徐祥准 ,  朴华仙 ,  郑昊均 ,  赵成珉 ,  刘址范

IPC: C23C16/44

CPC classification number: C23C16/06 ,  C23C16/30 ,  C23C16/44

Abstract: 一种薄膜沉积装置被提供。该装置包括衬底装载单元，其被配置来将衬底装载在该衬底装载单元上；衬底运输单元，其与所述衬底装载单元连接且被配置来移动所述衬底；和薄膜沉积单元，其被配置来在所述衬底上沉积薄膜，其中所述薄膜沉积单元包括多个等离子体模块，还有提供在各个所述等离子体模块之间且被配置为通过升高或降低来连接相邻等离子体模块下面的空间或使相邻等离子体模块下面的空间彼此隔离的隔离构件，且所述衬底运输单元在所述多个等离子体模块之间轮流移动所述衬底装载单元从而允许薄膜被形成在所述衬底上。