公开(公告)号：CN100543407C

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200610080724.7

申请日：2006-05-15

Applicant: 恪纳腾技术公司

Inventor： 哈拉尔德·赫斯 ,  汤姆·卡尔 ,  罗曼·萨裴

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02 ,  G11B5/48

CPC classification number: G01B9/0207 ,  G11B5/6052

Abstract: 在一个实施方案中，一种动态参考平面补偿的方法包括将来自第一辐射源的辐射照射到物体(230)的表面(232)上，根据从所述表面(232)上的第一位置反射的辐射，以及从第二位置反射的辐射生成未补偿测量信号；根据从所述表面(232)上的第三位置和第四位置反射的辐射生成补偿信号；并且使用所述未补偿测量信号和所述补偿信号生成补偿后测量信号。

公开(公告)号：CN1865846A

公开(公告)日：2006-11-22

申请号：CN200610080724.7

申请日：2006-05-15

Applicant: 恪纳腾技术公司

Inventor： 哈拉尔德·赫斯 ,  汤姆·卡尔 ,  罗曼·萨裴

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02 ,  G11B5/48

CPC classification number: G01B9/0207 ,  G11B5/6052

Abstract: 在一个实施方案中，一种动态参考平面补偿的方法包括将来自第一辐射源的辐射照射到物体(230)的表面(232)上，根据从所述表面(232)上的第一位置反射的辐射，以及从第二位置反射的辐射生成未补偿测量信号；根据从所述表面(232)上的第三位置和第四位置反射的辐射生成补偿信号；并且使用所述未补偿测量信号和所述补偿信号生成补偿后测量信号。